리소그래피 기계는 많은 학과와 전공을 포함한다. 인도 공업의 기초가 좋지 않아 많은 공업 특산물을 생산할 수 없다. 리소그래피 기계는 또한 고도의 전문성을 필요로, 인도 혼자 할 수 없습니다. 마스크 정렬 노출기, 노출 시스템 및 리소그래피 시스템이라고도 하는 리소그래피 기계는 칩을 만드는 핵심 장비입니다. 사진 인쇄와 유사한 기술을 사용하여 노출을 통해 마스크의 미세한 패턴을 실리콘 조각에 인쇄합니다.

하이 엔드 프로젝션 리소그래피는 스테퍼 프로젝션과 스캔 프로젝션 리소그래피의 두 가지 유형으로 나뉩니다. 해상도는 보통 7 나노미터에서 몇 미크론 사이이다. 하이 엔드 마스크 조준기는 세계에서 가장 복잡한 기기로 여겨진다. 하이 엔드 리소그래피 기계는 현대 광학 산업의 꽃이라고 할 수 있으며 제조가 매우 어렵습니다. 전 세계 소수의 회사만이 제조할 수 있습니다. 외국 브랜드는 주로 네덜란드의 아스맥 (독일 카메라), 일본의 니콘 (고급 리소그래피 기계, 인텔에서 니콘을 산 적이 있음), 일본의 캐논이다.

리소그래피 기계 응용 장면

1, 칩 제조: 리소그래피 기계는 반도체 칩 제조의 핵심 장비 중 하나로 칩의 회로 그래픽을 실리콘으로 전송하는 데 사용됩니다. 마스크 정렬기의 광원 및 마스크를 제어하여 고정밀 패턴 전송을 가능하게 하여 고품질 칩을 만들 수 있습니다.

2.LCD 제조: LCD 는 리소그래피 기술을 사용하여 픽셀을 만들어야 하는데, 리소그래피 기계는 이 공정을 실현하는 핵심 장비입니다. 리소그래피기는 회로 그래픽을 LCD 화면으로 전송하여 이미지를 표시할 수 있습니다.

3. 광학 구성요소의 제조: 마스크 정렬기는 렌즈나 프리즘과 같은 광학 요소를 만드는 데도 사용할 수 있습니다. 마스크 리소그래피기의 광원 및 마스크를 제어하여 고정밀 광학 요소 제조를 실현할 수 있습니다.

4. 광전기의 제조: 광각기는 태양전지판, 광전탐지기 등과 같은 광전기를 만드는 데도 사용할 수 있습니다. 마스크 리소그래피기의 광원 및 마스크를 제어하여 고정밀 광전기 제조가 가능합니다.