최근 중국의 한 반도체 기업이 새로운 기술 돌파를 실현하였다. 이 기술은 매우 중요하며 칩 제조 과정에서 없어서는 안 될 부분이다. 이 기술이 없으면 칩 제조는 완성할 수 없다. 중요성으로 볼 때 이 기술은 리소그래피 기계 못지않다. 이 기업은 바로 매생 반도체인데, 최근에는 가장자리 습법 각식 기술을 공략하여 상응하는 설비를 생산했다. 더 중요한 것은, 이 돌파구가 국산 기술에 의존하고 있다는 것은 이 기술이 이 기술의 자주화를 실현했다는 것을 의미한다. 그 후 중국은 더 이상 미국의 우리에 대한 클램프에 대해 걱정할 필요가 없다.
왜 우리는 중국에서 칩을 만들 수 없습니까? 주로 많은 핵심 기술이 봉쇄되어 있고, 일부 완제품 설비는 미국에 의해 봉쇄되어 우리는 살 수 없다. 그 중에서도 EUV 리소그래피기는 가장 중요한 기술과 장비로 여겨진다. 얼마 전 상하이 마이크로전자가 최신 로우엔드 국산 리소그래피 기계에 착지했다. 이 소식이 나오자, 고무적으로 중국의 칩 산업에 강심제를 주사하여 중국의 칩 자주화 과정을 한 걸음 앞으로 나아가게 했다.
하지만 우리는 이번 상하이 마이크로전자가 개발한 리소그래피 장비가 아무리 좋아도 EUV 리소그래피 기계가 아니라고 말했다. 하이엔드 칩은 여전히 방법이 없다. 이것은 거의 일종의 제한이다. EUV 리소그래피 기계가 없으면 중국이 고급 칩으로 가는 길은 제한될 것이다. 그리고 우리가 지금 말하고 싶은 것은 EUV 리소그래피 기계가 동등하고 에칭 머신도 똑같이 중요하다는 것입니다. 이 물건이 없으면, EUV 리소그래피 기계가 없는 것처럼, 우리는 여전히 상위 몇 위를 찾을 수 없다.
리소그래피 기계가 칩 제조 과정에서 하는 역할은 비범하다. 리소그래피 기계의 "조각 공정" 을 통해 웨이퍼에 다양한 섬세한 패턴을 조각하여 집적 회로를 형성할 수 있다. 이 과정에서 리소그래피 장비의 수준은 칩의 제조 공정을 직접 결정하는데, 이는 칩의' 운명' 을 결정하는 단계라고 할 수 있다. 칩 제조가 복잡할수록 리소그래피 기계에 대한 요구가 높아진다.
현재 거의 모든 최고급 하이엔드 휴대폰에는 그 칩에 5nm 공예가 필요하다는 문턱이 있다. 이런 고급 칩은 EUV 리소그래피 기계로만 제조할 수 있다. 이는 우리나라가 현재 EUV 리소그래피 기계가 없어 고급휴대폰의 핵심 칩을 스스로 생산할 수 없다는 뜻이다.
그러나 칩 제조는 마스크 조준기에 국한되지 않는다. 칩을 새긴 후, 일련의 후속 가공이 있어야 진정으로 칩을 완성할 수 있다. 그중에서 가장 중요한 것은 에칭이다. 리소그래피 기계 "그림" 은 웨이퍼에 있고 에칭 기계는 "그림" 을 사용하여 불필요한 장소와 불순물을 에칭함으로써 집적 회로를 형성합니다. 칩 제조의 경우, 리소그래피 머신과 에칭 머신은 한 쌍의 형제, 하나는 처리 전, 하나는 처리 후와 같습니다.
에칭 기계는 칩 제조의 성공뿐만 아니라 칩의 성능과 수율에도 영향을 미친다. 에칭 기술이 제자리에 있지 않으면 제거하지 말아야 할 부분이 제거되거나 제거해야 할 박막과 불순물이 깨끗이 정리되지 않아 칩의 성능에 영향을 줄 수 있다. 에칭 기술이 더 나빠지면 칩은 폐기되어 합격용 기준에 미치지 못한다.
현재 시장에는 주로 건식 에칭과 습식 에칭 두 가지 에칭 방법이 있는데, 그 중 습식 에칭이 비교적 유행하고 있다. 현재 시중의 주요 칩 에칭은 모두 후자의 기술을 채택하고 있다. 매생 반도체가 개발한 가장자리 습법 각식 설비는 리소그래피 후의 각식 임무를 완벽히 완수할 뿐만 아니라 칩의 성능과 완성률도 높일 수 있다.
이번에 중국이 또 이겼다고 말할 수 밖에 없다. EUV 리소그래피 기계 외에도 미국이 자원을 차단하는 데 사용하는 기술과 장비가 중국에서 일일이 잠금 해제되고 있다. 게다가 우리 제품의 강력한 경쟁력까지 더해져 미국은 다음 단계에 어떻게 해야 할지 생각해야 한다. 다른 사람을 학대하는 회사들도 다음 단계에 어떻게 탈출구를 찾을 수 있을지 생각해야 한다. (윌리엄 셰익스피어, 템페스트, 희망명언)
화웨이를 제재했을 때 많은 사람들이 화웨이 때문에 미국이 중국의 칩 산업에 눈을 돌렸다고 착각했던 기억이 납니다. 그러나 지금 각종 사적은 미국의 취옹의 뜻이 술이 아니라 중국의 하이테크 산업이 더 많다는 것을 보여준다. 가까운 장래에 유례없는 과학기술 분쟁이 펼쳐질 것이며, 주인공은 당연히 미국을 비롯한 베테랑 강국과 중국을 비롯한 후발 쇼다. 이번 경쟁에서 주동권과 더 많은 칩을 얻기 위해 중국은 지금 봉쇄된 기술을 공략하여 상대에게 걸리지 않도록 해야 한다. 칩 자주화를 실현하는 것은 매우 중요한 일환이다. 현재 중국은 이미 큰 발전을 이루었지만 아직 갈 길이 멀기 때문에 우리가 계속 노력해야 한다.