터빈 로터와 모터 메인 샤프트의 불균형이 진동의 주요 원인입니다. 터빈 로터 구조의 관점에서 볼 때 균형에 영향을 미치는 이유는 다음과 같습니다:

1. 로터의 재질이 고르지 않습니다(밀도가 고르지 않고 팽창 계수가 고르지 않음).

2. 로터 단면의 동축성, 평행도, 로터 본체의 비대칭성 등 제조 시 터빈 로터의 각 구성 부품의 가공 오류

3. . 예를 들어, 조립 불량으로 인해 터빈 로터의 상부 및 하부 임펠러가 어긋나거나, 터빈 로터가 모터 샤프트에 올바르게 설치되지 않거나, 조립 중 가압력이 부족하여 고속 작동 후 헐거워지는 등의 현상이 발생합니다.

위의 요인은 터빈 로터의 질량 분포를 고르지 못하게 하고 로터가 회전할 때 불균형한 원심력이 발생하여 분자 펌프에 유해한 진동과 소음이 발생하게 됩니다.

2. 터보분자펌프는 속도가 매우 빠르기 때문에 진동을 방지하는 것도 중요한 문제이다. 분자펌프의 설계에 있어서는 작동속도를 정확하게 선택하고 모터의 주축을 합리적으로 설계해야 한다.

3. 베어링의 정밀도, 설치 방법, 윤활 조건 등 메인 샤프트의 지지 조건도 분자 펌프의 진동에 더 큰 영향을 미칩니다.

기계 전체가 작동할 때 분자 펌프의 진동을 줄이기 위해 펌프 설계 및 제작 시 다음과 같은 조치를 취해야 합니다.

1. 조건이 허락하는 한, 진동 제로는 가능한 한 부품의 가공 정확도를 높여야 합니다.

2. 모터 스핀들, 터빈 로터 등 회전 부품에 대해 엄격한 동적 밸런싱 테스트를 수행합니다.

3. 진동을 방지하고 펌프의 안전한 작동을 보장하기 위해 펌프는 각 단계에서 주축의 작동 속도 n이 임계 속도를 벗어나도록 설계되어야 합니다. 샤프트의 예비설계 시에는 임계속도를 점검하여 작업속도와 최소 20% 정도 차이가 나도록 해야 하며, 그렇지 않은 경우에는 위의 요구사항을 충족하도록 샤프트의 크기나 강성을 변경해야 합니다.

4. 스핀들 베어링 외부에 고무 댐핑 링을 설치합니다. 진동 감소 및 차음 효과 외에도 고무 진동 감쇠 링은 최대 진동 영역을 통과하고 고주파 진동 및 소음을 ​​감쇠시키는 데에도 도움이 됩니다.

5. 분자펌프의 진동이 외부로 전달되는 것을 줄이고 외부진동이 분자펌프에 미치는 영향을 줄이기 위해 분자펌프의 4개 기둥 아래에 4개의 고무패드가 설치되어 역할을 한다. 진동 격리.