진동 센서는 기능에 따라 나눌 수 있습니다: 기계적 수신 원리에 따라; 상대 및 관성; 전기 기계 변환 원리에 따라 전기식, 압전식, 소용돌이, 감전식, 접점식, 저항식, 광전식으로 나뉜다. 측정된 기계의 양에 따라 변위 센서, 속도 센서, 가속도 센서, 힘 센서, 변형 센서, 비틀림 센서, 토크 센서 등이 있습니다.
1, 상대 전기 센서 전기 센서는 전자기 감지의 원리를 기반으로 합니다. 즉, 움직이는 도체가 고정 자기장에서 자력선을 절단할 때 도체 양쪽 끝에서 전동력을 감지하므로 이 원리를 이용하여 만든 센서를 전기 센서라고 합니다. 상대 전기 센서는 기계적 수신 원리에 따른 변위 센서입니다. 전기 기계 변환 원리에 전자기 감지 법칙을 적용했기 때문에 생성된 전동력은 측정된 진동 속도에 비례하기 때문에 실제로는 속도 센서입니다.
2. 와전류 센서 와전류 센서는 센서 끝과 측정된 물체 사이의 거리 변화를 통해 물체의 진동 변위 또는 진폭을 측정하는 상대적 비접촉 센서입니다. 와전류 센서는 주파수 범위 폭 (0 ~ 10 kHz), 선형 작동 범위, 민감도, 비접촉 측정 등의 장점을 가지고 있습니다. 주로 회전 기계에서 샤프트의 정적 변위, 진동 변위 측정 및 진동 모니터링에 사용됩니다.
3. 유도 센서는 센서의 상대적 기계적 수신 원리에 따라 측정 중인 기계적 진동 매개변수의 변화를 전기 매개변수 신호의 변화로 변환할 수 있습니다. 따라서 인덕턴스 센서에는 가변 클리어런스와 가변 자기 영역의 두 가지 형태가 있습니다.
용량 성 센서 용량 성 센서는 일반적으로 두 가지 유형으로 나뉩니다. 즉, 간격 유형과 가변 공통 영역 유형을 변경할 수 있습니다. 가변 틈새는 선형 진동의 변위를 측정할 수 있습니다. 가변 면적 공식은 비틀림 진동의 각 변위를 측정할 수 있습니다.
5. 관성 전기 센서 관성 전기 센서는 고정 부분, 활성 부분 및 지지 스프링 부분으로 구성됩니다. 센서가 변위 센서 역할을 하도록 하려면 움직이는 부분의 질량이 충분히 커야 하며 지지 스프링의 강성이 충분히 작아야 합니다. 즉, 센서의 고유 주파수가 낮아야 합니다. 전자기 유도 법칙에 따르면 유도 기전력은 u = blx &；; 여기서 B 는 자기속 밀도, L 은 자기장에서 코일의 유효 길이, r x & amp；; 자기장에서 코일의 상대 속도입니다. 센서의 구조로 볼 때 관성 전기 센서는 변위 센서입니다. 그러나 출력 전기 신호는 전자기 감지에 의해 생성되기 때문에, 전자기 감지의 법칙에 따르면 코일이 자기장에서 상대적으로 움직일 때 감지 전동력은 코일이 자력선을 절단하는 속도에 비례한다. 따라서 센서의 출력 신호의 경우 감지 전동력은 측정된 진동 속도에 비례하므로 실제로 속도 센서입니다.
6. 압력 가속도 센서 압력 가속도 센서의 기계적 수신 부분은 관성 가속 기계 수신의 원리이며, 전기 기계 부분은 압전 결정체의 양압 효과를 이용한다. 그 원리는 일부 결정체 (예: 인공극화 도자기, 압력 응시 결정체 등) 이다. ), 압전 소재마다 압전 계수가 다르며 일반적으로 압전 재료 성능 표에서 찾을 수 있습니다. ) 특정 방향의 외력 작용이나 변형이 있을 때 결정면 또는 극화면에 전하가 있을 수 있습니다. 기계적 에너지 (힘, 변형) 에서 전기 에너지 (전하, 전기장) 로의 이러한 전환을 양압 효과라고 합니다. 전기 에너지 (전기장, 전압) 에서 기계 에너지 (변형, 힘) 로의 변환을 역압전 효과라고 합니다. 따라서 결정체의 압전 효과는 힘 센서를 만드는 데 사용될 수 있다. 진동 측정에서 압전 결정의 힘은 관성 질량의 관성력이므로 결과 전하량은 가속도에 비례하므로 압전 센서는 가속도 센서입니다.
7. 진동 테스트에서, 압전력 센서는 진동을 측정하는 것 외에, 종종 시편에 가해진 동적 충격력을 측정해야 한다. 압전력 센서는 주파수 대역폭, 동적 범위, 작은 크기, 가벼운 무게 등의 장점을 가지고 있어 널리 사용되고 있습니다. 압전력 센서의 작동 원리는 압전결정체의 압전효과를 이용하는 것이다. 즉, 압전력 센서 출력의 전하 신호는 외력에 비례한다.
8. 임피던스 헤드 임피던스 헤드는 포괄적인 센서입니다. 압력력 센서와 압력식 가속도 센서를 통합하여 힘 전달 지점의 인센티브와 동작 응답을 동시에 측정합니다. 따라서 임피던스 헤드는 힘 센서와 가속도 센서의 두 부분으로 구성됩니다. 그것의 장점은 측정점의 응답이 인센티브점의 반응이라는 것이다. 사용할 때 작은 머리 (동력측) 는 구조에 연결되고, 큰 머리 (가속도 측정) 는 충격기의 힘봉에 연결됩니다. 충격력 신호는 "힘 신호 출력 끝" 에서 측정되고 가속 응답 신호는 "가속 신호 출력 끝" 에서 측정됩니다. 임피던스 헤드는 가벼운 하중만 견딜 수 있으므로 가벼운 구조, 기계 부품 및 재질 샘플을 측정하는 데만 사용할 수 있습니다. 힘 센서든 임피던스든 신호 변환 요소는 압전 결정체이므로 측정 회로는 전압 증폭기 또는 전하 증폭기여야 합니다.
9. 저항 변형 센서 저항 변형 센서는 측정된 기계적 진동을 센서 저항의 변화로 변환합니다. 이러한 전기 기계 변환을 구현하는 센서 구성요소는 여러 가지가 있는데, 그중에서 가장 흔히 볼 수 있는 것은 저항 변형 센서이다. 저항 스트레인 게이지의 작동 원리는 스트레인 게이지가 시편에 부착되면 시편의 힘이 변형되고 스트레인 게이지의 원래 길이가 변경되어 스트레인 게이지의 저항이 변경된다는 것입니다. 실험에 따르면 샘플의 탄성 변화 범위 내에서 변변 저항기의 상대적 변화는 길이의 상대적 변화에 비례한다.