불순물 검사에 사용될 때, 피크 면적 정규화 방법의 측정 오차가 크기 때문에, 이 방법은 샘플의 불순물 함량만 대략적으로 조사할 수 있다. 달리 명시되지 않는 한, 일반적으로 미량의 불순물 검사에 적합하지 않다.
지역 표준화 방법