사진 인쇄와 유사한 기술을 사용하여 노출을 통해 마스크의 미세한 패턴을 실리콘 조각에 인쇄합니다. 리소그래피 기계의 브랜드는 매우 많아서 기술 노선에 따라 스텝프로젝션과 스캔 프로젝션 리소그래피기로 나눌 수 있습니다. 해상도는 보통 7 나노미터에서 몇 미크론 사이이다. 프리미엄 리소그래피 기계는 세계에서 가장 정교한 기기라고 불리며 전 세계적으로 6543.8+0 억 2 천만 달러의 리소그래피 기계가 있습니다.
하이 엔드 리소그래피 기계는 현대 광학 산업의 꽃이라고 할 수 있으며 제조가 매우 어렵습니다. 전 세계 소수의 회사만이 제조할 수 있습니다. 외국 브랜드는 주로 네덜란드의 아스맥 (독일 카메라), 일본의 니콘 (고급 리소그래피 기계, 인텔에서 니콘을 산 적이 있음), 일본의 캐논이다.
마스크 정렬기 성능 지수
리소그래피 기계의 주요 성능 지표로는 라이닝을 지원하는 크기 범위, 해상도, 정렬 정밀도, 노출 방법, 광원 파장, 광도 균일성, 생산성 등이 있습니다.
해상도: 리소그래피에서 얻을 수 있는 가장 가는 선 정밀도에 대한 설명입니다. 리소그래피의 해상도는 광원 회절에 의해 제한되므로 광원, 리소그래피 시스템, 리소그래피 및 프로세스에 의해 제한됩니다.
정렬 정밀도: 다중 레이어 노출 시 레이어 패턴의 위치 정확도를 나타냅니다.
노출 방법: 접촉 근접, 투영, 직접 쓰기.
노출 광원 파장: 자외선, 짙은 자외선, 극자외선 영역으로 나뉩니다. 광원은 수은 램프와 엑시머 레이저를 포함한다.
정렬 시스템: 고정밀 정렬 시스템 제조에는 거의 완벽한 정밀 기계 기술이 필요합니다. 이는 국산 리소그래피 기계가 따라올 수 없는 기술적 어려움 중 하나입니다. 많은 미국 독일 브랜드의 리소그래피 기계에는 전문적인 특허 기계 기술 설계가 있다.
위의 내용을 참조하십시오: Baidu 백과 사전-마스크 정렬 장치