리소그래피 기계는 칩의 정확한 크기를 결정하고, 디자이너는 칩의 회로를 설계하고, 리소그래피 기계를 통해 칩에 회로를 새기며, 그 규모는 보통 미크론급 이상이다. 리소그래피 기계는 칩의 전체 프레임 워크와 기능을 결정하기 때문에 칩 생산에서 가장 비싸고 기술적으로 어려운 장비입니다.
사실, 고정밀 칩을 생산하는 것은 어렵지 않지만 생산 속도가 너무 느리고 리소그래피 기계가 고정밀 칩을 신속하게 생산할 수 있으므로 매우 중요합니다. 마스크 정렬기에서 나오는 빛은 패턴이 있는 라이트 마스크를 통해 광택이 있는 슬라이버를 노출하는 데 사용됩니다. 포토 레지스트가 노출되면 특성이 변경되어 라이트 마스크의 패턴을 슬라이버에 복사할 수 있으므로 슬라이버에 전자 회로도 기능이 제공됩니다.
정렬 시스템
고정밀 정렬 시스템 제조에는 거의 완벽한 정밀 기계 기술이 필요한데, 이는 국산 리소그래피 기계가 따라올 수 없는 기술적 난점 중 하나다. 많은 미국 독일 브랜드의 리소그래피 기계에는 전문적인 특허 기계 기술 설계가 있다. 예를 들어, Mycron &；; Q 리소그래피 기계는 전체 공압 베어링 설계 특허 기술을 사용하여 베어링 기계 마찰로 인한 프로세스 오류를 효과적으로 방지합니다.
시스템을 조준하는 또 다른 기술적 문제는 현미경을 조준하는 것이다. 현미경의 시야를 높이기 위해 많은 고급 리소그래피 기계가 LED 조명을 사용합니다. 초점 기능이 있는 두 세트의 정렬 시스템이 있습니다. 주로 1 현미경 본체, 접안 렌즈 및 대물 렌즈에 쌍안 이중 시야 정렬 (일반적으로 리소그래피 기계는 사용자가 함께 사용할 수 있도록 다른 배율의 접안 렌즈와 대물 렌즈를 제공합니다).