실리콘 질화물의 합성방법은 헨리 에딘 산타클레어 드빌과 프리드리히 빌러가 1857 년 처음 보도했다. 그들이 보도한 합성 방법에서는 실리콘으로 가득 찬 또 다른 텅스텐을 탄소로 가득 찬 텅스텐에 묻어 가열하여 산소의 침투를 줄였다. 그들은 그들이 실리콘 질화물이라고 부르는 제품을 보고했지만, 그들은 그것의 화학 성분을 찾아내지 못했다. 1879 Paul Schuetzenberger 는 실리콘과 라이닝 (숯, 석탄, 코크스를 점토와 혼합하여 얻을 수 있는 덩어리) 을 혼합하여 용광로에서 가열하여 이 제품을 얻습니다. Si3N4 로 구성된 화합물이라고 보도했습니다. 19 10 에서 Ludwig Weiss 와 teodor engelhardt 는 순수 질소에서 실리콘을 가열하여 Si3N4 를 얻습니다. 1925 년, Friederich 와 Sittig 는 탄소열 환원법을 이용하여 질소 분위기 속에서 실리카와 탄소를1250-1300 C 로 가열했습니다.

그 후 수십 년 동안 실리콘 질화물은 실리콘 질화물의 상업적 용도가 나타날 때까지 주목받고 연구되지 않았다. 아이치슨은 1948 부터 1952 까지 뉴욕 나이아가라 폭포 근처에 emery 회사를 설립하고 실리콘 질화물 제조 및 사용에 대한 특허를 등록했습니다. 1958 년 연합탄화물회사에서 생산한 실리콘 질화물은 열전도관, 로켓 노즐, 용융 금속을 만드는 데 사용되었습니다. 영국의 실리콘 질화물에 대한 연구는 1953 에서 시작되어 가스 터빈의 고온 부품을 제조하기 위한 것이다. 따라서 결합 실리콘 질화물과 고온 가압 실리콘 질화물이 개발되었습니다. 197 1 년, 미 국방부 산하의 국방고등연구계획국은 포드사 및 서옥사와 1700 만 달러 가치 계약을 체결하여 두 종류의 도자기 가스 터빈을 개발하였다.

실리콘 질화물의 특성은 이미 널리 알려져 있지만 실리콘 질화물 (약 2×5? M) 은 1990 년대 운석에서 발견됐다. 스펙트럼 연구의 선구자인 알프레드 오토 칼 닐을 기념하기 위해 자연계에서 발견된 실리콘 질화물 광석은' 니켈 철광' 이라고 불린다. 하지만 운석에 존재하는 실리콘 질화물 광산이 구소련의 아제르바이잔에서 더 일찍 발견될 수 있다는 증거가 있다. 。 중국 구이저우성에서도 실리콘 질화물 광물을 함유한 운석이 발견됐다. 지구의 운석 외에도 실리콘 질화물은 외계의 우주 먼지 속에 분포되어 있다.