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붕소 도핑 다이아몬드 박막 센서란 무엇입니까?
다이아몬드는 경도, 열 전도율 및 내식성이 높은 전형적인 다기능 재질입니다. 순금강석은 절연체로, 금강석은 일정량의 플루토늄 불순물을 섞은 후 P 형 반도체가 되고, 중도핑 후 도체가 되기도 한다. 플루토늄 농도가 섞인 변화는 그 자체의 전기적 성능에 직접적인 영향을 미친다. 또한 BDD (BDD) 박막은 낮은 배경 전류, 넓은 전위 창 및 높은 전기 화학적 안정성과 같은 전기 화학 분야에서도 큰 장점을 가지고 있습니다. 그러나, 그 전기 화학적 성능은 주로 BDD 의 플루토늄 농도에 의해 영향을 받는다. 이에 따라 이 글은 전자보조 열사 화학기상침착법 (EA-HFCVD) 을 이용해 BDD 박막을 만들어 BDD 박막 품질과 전기화학적 성능에 미치는 영향을 중점적으로 연구했다. 그 결과, 붕원유량이 36sccm 에서 36sccm 으로 증가하면 모든 BDD 막의 질량은 다음과 같습니다. 다이아몬드 결정립 크기 증가, 비금강석 탄소 함량은 낮은 수준으로 유지되고 BDD 막은 높은 결정도를 유지합니다. BDD 박막의 {100} 과 {1 1 1} 결정면의 라만 스펙트럼은 모두 다이아몬드의 sp~3 탄소 결합 특성 피크를 보여줍니다. BDD 박막 표면의 탄소 원자비 (B/C) 는 약 10000 ppm 에 도달하고 캐리어 농도는 6.57× 1020cm-3 으로 전도율이 가장 좋습니다 BDD 막의 전기 화학적 성능 분석에서 볼 수 있듯이, 붕소 농도가 증가함에 따라 BDD 막의 전위 창은 점차 감소하고 인산염 완충액 (pH 7) 에서 측정 된 전위 창은 넓으며, 붕소 유량은 3sccm 인 BDD/Ta 전극에서 측정 된 최대 전위 창은 3.88v. BDD/Ta 전극의 전자 전달 속도 상수와 전기 화학이다. 붕소 소스 흐름이 36sccm 일 때 BDD/Ta 전극의 유효 활성 표면적은 1.3 1cm~2 이고 전자 전송 속도 상수는 2.4 ×10 ~ 입니다 BDD/Ta 전극이 벤젠계 유기오염물과 생물분자에 대한 전기화학반응을 연구한 결과, BDD/Ta 전극은 페놀, 벤젠페놀, 프탈페놀, 레벤젠페놀, 페닐린, 2- 아미노 페놀, 4- 아미노 페놀 등 벤젠 고리 유기분자에 대한 산화활성성이 높은 것으로 나타났다. 붕원 유량이 36sccm 인 BDD/Ta 전극의 벤조페놀에 대한 감지 감도는 0.316 μ A 미크론 ~ (- 1) cm ~ (-2) 로 0.59 μ 로 제한됩니다 그 결과, 15~36sccm 범위 내에서 제작된 BDD/Ta 전극은 빠른 전자 전송 속도, 높은 선택성 및 분석물에 대한 고감도를 가지고 있으며 전기 화학 센서에 적합하며, 플루토늄 함량 최적화 BDD/Ta 전극을 변경함으로써 다목표 물질을 동시에 감지할 수 있는 것으로 나타났다. 또한 고붕원 유량이 높은 BDD/Ta 전극은 전기 촉매 산화 성능이 뛰어나 고급 산화 기술로 사용되는 오수 처리 전극으로 좋은 전망을 가질 수 있다. …