마스크 조준기 특허 공개. 마스크판 리소그래피 기계가 특허를 신청하지 않은 이유는 마스크판 리소그래피 기계의 특허가 공개됐기 때문이다. 리소그래피 기계는 이미 국산을 할 수 있어서 특허 제한과는 상관이 없다. 세계 3 개국이 리소그래피 기계를 만들 수 있고, 4 개 회사가 리소그래피 기계, 네덜란드의 아젤, 일본의 니콘, 캐논, 중국의 상하이 마이크로전자를 만들 수 있다. 그중 유일하게 하이엔드 euv 리소그래피 기계를 만들 수 있는 사람은 네덜란드 Asmel 이고, 나머지 세 곳은 모두 duv 리소그래피 기계입니다. 특허 제한은 제한의 한 측면일 뿐, 가장 큰 요인은 기술적인 문제이다.