건법 플라즈마로 각식할 경우 너무 넓게 새기기 쉬우므로 외관층 주위의 pn 매듭이 손상되어 최종 효율성이 떨어진다. 동시에 플라즈마 각식은 그 주위에 붕괴점을 일으켜 조각률이 높다. 레이저 트리밍 을 사용하면 등 뒤에서 작동하기 때문에 아무런 피해도 발생하지 않습니다. 전통적인 HF 방법만으로 PSG 를 제거할 때, 침지 시간이 너무 길면 블록 저항이 약간 크고 주변이 검게 되어 단시간 내에 문제가 없을 것이다. HF/HNO3 부식은 HF 또는 HNO3 을 함유한 증기에 의해 표층이 부식되고, 표층방저항이 커진다.