비등방성 에칭은 주로 각 방향의 속도가 다른 재료를 각식하는 데 사용됩니다 ~ 예를 들어/KOH 에칭 100 및 1 10 방향의 실리콘은 속도가 완전히 다릅니다 ~ 100 이 훨씬 빠릅니다

건식 에칭의 경우 주로 일부 가스를 이온 상태로 전리 한 다음 전자기 가속으로 목표물에 부딪혀 목표 물질에 반응하는 것입니다 ~

사실, 나는 네가 말한 이 두 가지가 사실 수평적으로 비교가 되지 않는다고 생각한다. 。

부식에 방향성이 있는지 여부에 따라 에칭은 비등방성과 등방성으로 나눌 수 있습니다.

각식에 사용된 재료에 따라 습법 (예: 위에서 언급한 KOH) 과 건법 (일반적으로 RIE, 반응각식) 으로 나눌 수 있습니다.

억지로 비교하면, 건법 각식은 비등방성 각식보다 낫다. 건법 각식은 아주 좋은 측벽을 제공할 수 있기 때문이다. 즉, 각식된 구멍의 내벽과 바닥은 거의 수직일 수 있지만, 구체적인 효과는 건법 각식의 방법과 재료, 과녁에 달려 있다.