진공 로봇은 진공 환경에서 작동하는 로봇으로, 주로 반도체 산업에 적용되어 진공실의 결정원 전송을 가능하게 한다. 진공 로봇 수입은 어렵고, 제한이 많고, 소모량이 많고, 용도가 넓어 반도체 장비 개발 진도와 전체 제품 경쟁력을 제한하는 핵심 부품이 되었다. 그리고 외국 바이어들은 중국에서 엄격한 심사를 거쳐 금수 조치 제품 카탈로그에 속한다. 진공기계팔은 이미 우리나라 반도체 설비 제조를 심각하게 제한하는' 병목' 문제가 되었다. 직접 구동 진공 로봇 기술은 원시 혁신 기술에 속한다. 핵심 기술은 다음과 같습니다: (1) 진공 로봇의 새로운 구성 설계 기술: 구조 분석 및 최적화 설계를 통해 국제 특허를 피하고 새로운 구성을 설계하며 진공 로봇의 강성 및 팽창비 요구 사항을 충족합니다. (2) 대형 갭 진공 다이렉트 드라이브 기술: 대형 갭 진공 다이렉트 드라이브 모터 및 고 청정 다이렉트 드라이브 모터에 대한 이론적 분석, 구조 설계, 제조 공정, 모터 재료 표면 처리, 저속 대형 토크 제어, 소형 다축 드라이브 등이 포함됩니다. (3) 진공 환경에서 다축 정밀 샤프트 설계. 축 중심 축의 설계 방법을 사용하여 축 간 편심 및 관성 비대칭 문제를 줄입니다. (4) 동적 트랙 보정 기술: 센서 정보와 로봇 모션 정보의 융합을 통해 핑거와 손가락 참조 위치의 편차를 감지하고, 로봇은 모션 트랙을 동적으로 보정하여 진공실의 한 위치에서 다른 위치로 수정원을 정확하게 이동할 수 있습니다.