실리콘 질화물 먼지는 가연성 분진에 속한다. 공기 중에 일정한 농도가 형성되면 화원과 접촉하면 폭발과 화재가 발생할 수 있는데, 이는 실리콘 질화물 분말을 제조, 가공 및 처리하는 업계에서 발생할 수 있다.

실리콘 질화물 분진이 폭발하는 것을 막기 위해서는 적절한 설비 방폭 설계, 환기 및 배기 강화, 분진 생성 과정 제어, 설비 및 작업장 정기 청소와 같은 조치가 필요하다.