探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动

从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（超低温探针台），RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台 根据客户需求定制

chuck尺寸：4*4 6*6 8*8 12*12 (可选）

X-Y移动行程：4*4 6*6 8*8 12*12(可选）

chuck Z轴方向升降10mm（选项）方便探针与样品快速分离

显微镜：金相显微镜、体式显微镜、单筒显微镜（可选）

显微镜移动方式：立柱环绕型、移动平台型、龙门结构型（可选）

探针座：有0.7um、2um、10um精度可选，磁性吸附带磁力开关

可搭配Probe card测试

适用领域：晶圆厂、研究所、高校等 chuck尺寸800mm/600mm

X,Y电动移动行程200mm/150mm

chuck粗调升降9mm，微调升降16mm

可搭配MITUTOYO金相显微镜或者AEC实体显微镜

针座摆放个数6～8颗

显微镜X-Y-Z移动范围2x2x2

可搭配Probe card测试

适用领域：8寸/6寸Wafer、IC测试之产品 chuck尺寸1200mm，平坦度土1u（不锈钢或镀金）

X,Y电动移动行程300mm x 300mm

chuck粗调升降9mm，微调升降16mm，微调精度土1u

可搭配MITUTOYO晶像显微镜或者AEC实体显微镜

针座摆放个数8～12颗

显微镜X-Y-Z移动范围2“x2”x2“

材质：花岗岩台面+不锈钢

可搭配Probe card测试

适用领域：12寸Wafer、IC测试之产品 机械手臂取放片

电动、键入坐标寻位置

量测尺寸（mm）：1800x1600、1300x1200、1200x1000 白炽灯或者LED整面背光

TFT元件特性、Driver IC量测分析

机台尺寸（mm）：800x600、500x400、300x300 高频测试探头GSG / GS / SG

频率10GHZ / 40GHZ / 50GHZ / 67GHZ

机台尺寸同LCD 探针台 量测软体:

I-V /C-V Curve, Isc, Voc,

Pmax, Imax, Vmax, RS, Fill Factor,

Power Convert Efficiency

采用KEITHLEY Source Meter

可加配任意品牌之太阳光模拟器