유압 제어 기술의 역사는 기원전 240 년으로 거슬러 올라갈 수 있는데, 한 고대 이집트인들이 인류 역사상 최초의 유압 서보 시스템인 물시계를 발명했다. 하지만 이후 오랜 역사 단계에서 유압 제어 기술은 18 년 말과 19 년 초까지 정체되어 있다. 제 2 차 세계 대전 직전에 산업 발전의 필요에 따라 유압 제어 기술이 비약적으로 발전하였으며, 많은 초기 제어 밸브의 원리와 특허가 이 시대의 산물이었다. 아스카니야 조절 밸브와 아스카니야 워커가 제트 밸브 원리 특허를 발명하고 신청했습니다. 마찬가지로 Foxboro 는 노즐 베젤 밸브의 원리에 대해 특허를 출원했다. 독일 지멘스는 영구 자석 모터가 장착된 기계와 전기 신호를 받는 이중 입력 밸브를 발명하여 항공 분야에 독창적으로 적용했다.
제 2 차 세계 대전 말기에 서보 밸브는 솔레노이드에 의해 밸브 코어 운동을 직접 구동하는 단일 단계 개방 루프 제어 밸브였다. 그러나 제어 이론의 성숙과 군사 응용의 필요성에 따라 서보 밸브의 연구와 발전은 큰 성과를 거두었다. 1946 년 영국 Tinsiey 는 2 차 밸브 특허를 획득했습니다. 뇌신과 벨항공은 피드백이 있는 2 단 밸브를 발명했습니다. MIT 는 솔레노이드 대신 모멘트 모터를 사용하여 모터 전력 소비를 줄이고 선형성을 향상시킵니다. 1950 년, W.C.Moog 가 처음으로 단일 노즐 2 단 서보 밸브를 발명했습니다. 1953 에서 1955, T.H. 카슨은 기계적 피드백 2 단 서보 밸브를 발명했습니다. W.C.Moog 는 두 개의 노즐이 있는 2 단 서보 밸브를 발명했습니다. 월평은 건식 모멘트 모터를 발명하여 원래 기름에 담근 모멘트 모터가 기름으로 인한 신뢰성 문제를 없앴다. 1957 R.Atchley 는 Askania 제트관 원리를 기반으로 2 단 제트관 서보 밸브를 개발했다. 1959 는 3 단 전기 피드백 서보 밸브를 개발했다.
1959 년 2 월 외국의 한 유압 공압잡지는 당시 서보 밸브의 상황을 12 페이지로 보도해 당시 서보 밸브의 왕성한 발전을 알 수 있었다. 당시 각종 유형의 서보 밸브를 생산한 업체는 20 여 개였다. 서보 밸브 생산의 패주 지위를 쟁탈하기 위해 각 업체들은 치열한 경쟁을 벌였다. 역사를 돌이켜 보면, 피드백과 모멘트 모터가 있는 2 단 서보 밸브를 생산하는 여러 업체들이 최종적으로 승리하는 것을 볼 수 있습니다. 1960 의 서보 밸브는 현대 서보 밸브의 많은 특징을 가지고 있습니다. 예를 들어, 첫 번째 수준에 대한 두 번째 수준의 피드백은 폐쇄 루프 제어를 형성합니다. 건식 토크 모터 사용 상위 수준에서 전원 수준까지의 압력 회복은 일반적으로 50% 에 달할 수 있습니다. 첫 번째 수준의 기계적 대칭 구조는 온도 및 압력 변화가 0 에 미치는 영향을 줄입니다. 동시에, 초기 직동 개방 루프 제어 밸브에서 개발한 직동 2 단 폐쇄 루프 제어 서보 밸브도 나타났다. 당시 서보 밸브는 주로 군사 분야에 쓰였다. 우주 시대가 도래함에 따라 서보 밸브는 우주 분야에 광범위하게 적용되고, 신뢰성이 높은 중복 서보 밸브 등 첨단 제품이 개발되었다.
한편, 서보 밸브 산업 응용이 확대됨에 따라 일부 제조업체는 산업 응용 전용 산업용 서보 밸브를 개발했습니다. 예를 들어, 1963 년, Muger 는 업계 최초로 73 시리즈 서보 밸브 제품을 출시했습니다. 그 후 산업용으로 개발된 서보 밸브가 점점 더 많아지고 있다. 그것들은 다음과 같은 특징을 가지고 있다: 부피가 커서 제조하기 쉽다. 밸브 재질은 알루미늄입니다 (필요한 경우 강철도 사용할 수 있음). 독립적 인 첫 번째 수준은 조정 및 유지 보수를 용이하게합니다. 주로 14MPa 이하의 저압 상황에 사용됩니다. 가능한 시리즈화, 표준화된 제품을 형성하다. 독일 Moog 의 지사는 주로 고압 상황에서 서보 밸브의 적용에 초점을 맞추고 있으며, 일반적인 작동 압력은 2 1 MPa 이고, 일부는 35MPa 에 달하기 때문에 밸브 설계는 고압 하의 신뢰성에 초점을 맞추고 있습니다. 서보 밸브가 공업석상에서 광범위하게 적용됨에 따라 각 회사는 잇달아 공업석상에 적합한 비례 밸브를 내놓았다. 제어 정확도가 서보 밸브보다 낮지만 고급 제어 기술과 고급 전자 장치를 통해 단점을 보완하여 성능 및 효능이 서보 밸브에 근접하도록 하는 것이 특징입니다. 1973 에서 Moog 는 일부 서보 밸브를 산업용 비례 밸브 표준 인터페이스로 변환했습니다. 보세는 그 상징적인 스프레이 선도급과 전기 피드백이 있는 평면 서보 밸브를 개발했다. 1974, Moog 는 3 단계 전기 피드백 서보 밸브를 출시했습니다. 비용이 낮고 트래픽이 많습니다. 빅스는 스트레스 보상이 있는 KG 비례 밸브를 개발했다. 리슬러, 보세 등은 두 개의 코일이 있는 비례 밸브를 개발해 코어 양방향 운동을 조절하는 등.