반도체 업계의 핵심 장비 중 하나로, 리소그래피 기계는 칩 제조에 없어서는 안 될 중요한 역할을 한다. 최근 눈에 띄는 변화가 생겼다. 중국은 이미 46 종의 고급 국산 리소그래피 기계를 출시하여 중국이 이 분야에서 중요한 돌파구를 이룩했다는 것을 상징한다.

현재 화웨이는 이미 46 대의 국산 리소그래피 기계를 투입하여 그 칩을' 완전 독립' 하게 만들었다. 이 조치는 화웨이 칩의 품질과 성능을 크게 향상시켰을 뿐만 아니라, 전 세계 시장에서의 기업 경쟁력을 강력하게 지원했습니다.

국산 리소그래피 46 세트의 출현은 우리나라 반도체 산업이 이 기술 장벽을 성공적으로 뛰어넘었다는 것을 상징한다. 이 리소그래피 기계는 중국의 하이 엔드 리소그래피 기계 분야의 공백을 채우고 중국의 칩 제조 능력을 향상시킬뿐만 아니라 중국 반도체 산업의 핵심 경쟁력을 향상시킵니다.

마스크 정렬기의 역할

마스크 정렬 노출기, 노출 시스템 및 리소그래피 시스템이라고도 하는 리소그래피 기계는 칩을 만드는 핵심 장비입니다. 광학 리소그래피 또는 자외선 리소그래피라고도 하는 리소그래피는 박막 또는 기판 ("칩" 이라고도 함) 에 부품을 패턴화하는 정밀 가공 공정입니다. 리소그래피 기계는 실제로 사진 인쇄와 유사한 기술을 통해 도면의 부품을 실리콘 칩에 인쇄하는 기계입니다.

간단히 말해서, 라이트 각인기는 일련의 광원 에너지 및 모양 제어 수단을 이용하여 회로 다이어그램이 있는 마스크를 통해 빔을 전송하고, 물경을 통해 다양한 광학 오류를 보정하며, 회로 다이어그램을 비례적으로 축소한 후 실리콘 조각에 매핑합니다. 리소그래피 기계에 따라 이미징 비율이 5: 1 에서 4: 1 까지 다릅니다. 그런 다음 화학 현상기를 통해 실리콘 조각에 새겨진 회로도 (칩) 를 얻을 수 있다. 마이크로나노미터 규모의 가공을 보장하기 위해서, 리소그래피 기계의 작업 환경은 초순 환경이 필요하다.