1. 압전 모터 원리 소개
1) 스틱 슬립 압전 모터
끈적 끈적한 압전 모터의 작동 원리를 설명합니다. 스틱 슬라이딩 압전 모터는 주로 베어링, 슬라이더 (운동학 조립품), 접점 및 한쪽 끝이 고정된 압전 드라이브로 구성됩니다. 압전 세라믹의 길이는 가전압의 변화에 따라 길거나 짧아진다. 슬라이더와 접촉점 사이의 마찰력으로 인해 1 의 두 번째 그림과 같이 압력 세라믹이 변형될 때 슬라이더가 이동합니다. 이 과정을 점착기라고도 한다. 압력 세라믹이 변형될 때, 빠르게 하강하는 전압을 가하여 압력 세라믹을 신속하게 초기 상태로 회복시킨다. 그림 1 세 번째 그림과 같이 이 단계는 슬립 단계라고도 합니다. 관성 슬라이더가 고정되어 있고 압력 세라믹이 초기 상태로 돌아가므로 슬라이더의 순 변위도 발생합니다. 위의 두 단계를 반복하여 플랫폼을 거시적으로 이동합니다.
2) 스테퍼 압전 모터
일반적인 스테퍼 압전 모터는 그림 2 와 같이 최소 3 개의 압전 액츄에이터로 구성되며, 여기서 A 와 B 액츄에이터는 슬라이더와 접촉하여 클램핑 매커니즘 역할을 합니다. C 액츄에이터는 슬라이더를 초점이동하는 데 사용됩니다.
정지 시 액츄에이터 a 와 b 가 슬라이더와 동시에 접촉합니다. 이동을 시작하면 액추에이터 B 가 확장되고 A 가 축소되며 그림 2 의 그림과 같이 B 접촉 슬라이더만 표시됩니다. 또한 C 의 변형은 그림 2 의 두 번째 그림과 같이 B 와 슬라이더의 접촉을 통해 슬라이더를 이동합니다. 그런 다음 액추에이터 A 가 팽창하고 액추에이터 B 가 수축합니다. 이제 그림 2 의 세 번째 그림과 같이 A 접촉 슬라이더만 표시된 다음 그림 2 의 네 번째 그림과 같이 세라믹 C 를 원래 위치로 되감습니다. 다시 a 를 축소하고 b 를 확장하고 위 상태를 반복하면 슬라이더가 매크로 변위를 생성합니다.
3) 초음파 압전 모터
이 유형의 압전 모터의 경우 슬라이더의 동작은 접촉점의 타원 진동으로 인해 발생합니다. 다음 그림과 같이 나타납니다.
그림 3 의 그림은 초음파 모터의 주요 구조이고, 두 번째 그림은 압전 모터의 두 가지 작동 상태입니다. 왼쪽 접점은 접선 방향으로 이동합니다. 즉, 이동 방향, 오른쪽 접점은 위아래로 이동합니다. 압력 세라믹에 전기 신호를 가하면 두 모드 모두 동시에 발생하며, 위상차는 양수 및 음수 90 도로, 접촉점에서는 그림 3 그림과 같이 타원 진동이 발생합니다. 또한 접촉점의 궤적은 구동 신호의 진폭과 주파수에 의해 제어될 수 있습니다.