기계적 방법은 다음과 같습니다.

1. 가변 변위 진공 펌프

펌프강 부피의 주기적인 변화를 이용하여 흡입과 배기를 완료함으로써 공기를 뽑는 목적을 달성하는 진공 펌프입니다. 가스는 펌프실에서 배출되기 전에 압축된다. 이런 펌프는 왕복식과 회전으로 나뉜다.

왕복식 진공 펌프, 회전판 진공 펌프, 고정자 진공 펌프, 슬라이드 밸브 진공 펌프, 사이클로이드 진공 펌프, 액환 진공 펌프, 건식 진공 펌프, 로츠 진공 펌프는 모두 이 범주에 속한다.

운동량 전달 펌프

고속 회전 블레이드 또는 고속 제트에 의존하여 운동량을 가스 또는 가스 분자에 전달하여 펌프 입구에서 출구로 가스를 계속 전달합니다.

분자 진공 펌프, 증기 제트 펌프, 확산 펌프는 모두 이 범주에 속한다.

물리 법칙:

기체가 진공펌프를 포집하다.

기체 분자를 펌프의 내부 표면에 흡착하거나 응결시키는 진공 펌프로, 다음과 같이 나뉜다.

1. 흡착 펌프, 큰 표면적의 흡착제 (예: 다공성 물질) 의 물리적 흡착작용에 의지하여 공기를 빨아들인다. 분자 체 흡착 펌프와 같은 것들이죠.

2. 흡입제 펌프, 흡입제를 이용하여 화학적으로 가스를 잡는 진공펌프입니다. 흡입제는 보통 덩어리 모양이나 퇴적된 신선한 박막 형태의 금속이나 합금이다. 예를 들어 티타늄 승화 펌프, 알루미늄 흡입제 펌프는 이런 타입에 속한다.

3. 흡입제 이온 펌프는 전기장이나 전자기장의 작용을 통해 이온화된 가스를 흡수제 재료 표면에 흡착시켜 공기를 뽑는 목적을 달성한다. 다음과 같은 두 가지 유형이 있습니다.

1) 증발 이온 펌프: 펌프 내 이온화 가스는 간헐적이거나 연속적으로 승화 (또는 증발) 되어 펌프 내벽을 덮고 있는 흡입 재료에 흡착되어 흡입을 가능하게 하는 진공 펌프입니다. 레일 이온 펌프 (또는 탄도 티타늄 펌프) 를 예로 들 수 있습니다.

2) 스퍼터링 이온 펌프: 펌프 속의 이온화 가스가 음극이 끊임없이 튀는 흡기구 재료에 흡착되어 공기를 뽑는 목적을 달성하는 진공 펌프입니다.

4. 저온펌프는 저온표면을 이용하여 가스를 잡는 진공펌프입니다.