실리콘 마이크로전자 장치의 응용을 위해 PZT, PT, BST, BLT 등 중요한 실리콘 기반 철전박막 재료의 물리적 특성, 제비 및 각식 방법을 체계적으로 연구하여 기존의 마이크로전자 공정과 호환되는 고품질 실리콘 기반 철전기 부품의 핵심 통합 기술 문제를 잘 해결했다. 이에 기초하여, 다양한 신형 실리콘 기반 철전 집적기가 성공적으로 개발되었다.
(1) 강유전성 마이크로 음향 장치
PZT 강유전성 박막과 MEMS 기술을 결합하여 새로운 실리콘 기반 강유전성 통합 마이크를 성공적으로 구현했습니다. 이 새로운 MEMS 마이크로음향 장치는 마이크로마이크와 스피커의 기능을 통합하여 오디오 및 초음파 대역의 다양한 마이크로음향 시스템에 광범위하게 적용함으로써 기존의 마이크로마이크의 응용 공간을 크게 넓힐 수 있습니다.
(2) 강유전체 메모리
비휘발성 및 임베디드 애플리케이션을 위해 새로운 고품질 대면적 강유전체 박막 제비 방법을 제시하여 각식 손상, 수소 격리층, 응력 일치 등 기존 CMOS 공정과의 호환성 문제를 해결했습니다. 강유전용량 정밀한 전기 시뮬레이션을 위한 새로운 방법 (특허) 이 제시되어 강유전성 저장 장치와 어레이의 구조를 설계하고 최적화했습니다. 이를 바탕으로 비휘발성 저장 기능을 갖춘 철전 메모리 칩 원형을 성공적으로 개발했습니다.
기타 새로운 실리콘 마이크로 일렉트로닉스 장치
(1) 자기 전자 장치
나노 자성 다층막의 마이크로자기 구조를 연구하고 최적화해 고품질의 실리콘 기반 다층나노 자기막의 제비 및 각식과 같은 핵심 부품 통합 방법을 해결하여 자기 저항 변화율이 9% 를 넘는 표준 거대 자기 저항 (GMR) 회전 밸브 구조를 실현하였다. 최적화된 장치 단위 구조를 설계하고, 지폐 검사 헤드에 사용할 수 있는 우수한 성능의 자기장 센서 칩을 개발했습니다.
(2) 새로운 무선 주파수 마이크로 인덕턴스
새로운 적층 관통 구멍 코어 구조의 RF-SOC 마이크로인덕터를 제시하여 새로운 절연 자성 재료와 CMOS 공정을 결합하여 고품질의 RF 마이크로인덕터를 실현했습니다. 1.2004 교육부 신세기 우수 인재 지원 프로그램.
2.2003 년에 호영동 교육재단은 고등 대학의 청년 교사 (연구류) 를 수여했다.