Yingfeikang 진공 게이지를 선택하는 방법

진공계를 선택하는 방법

첫째, 피라니 진공계

1. 피라니 진공계 원리는 저항선을 원하는 작동 온도로 가열합니다. 가스 입자가 저항사와 충돌하여 에너지를 빼앗기 때문에 저항사의 온도가 변한다. 핫라인의 에너지 손실은 핫라인 주변의 기체 농도와 기체 성분에 비례한다.

두 가지 유형의 피라니 규칙이 추론됩니다.

1) 온도를 안정시키고 적용된 전압 변화를 측정하여 진공 당량을 측정합니다.

2) 전압을 안정시키고 온도 변화를 측정하여 진공 등가 (열전쌍 게이지) 를 측정합니다.

가스의 열전도는 다음 조건과 관련이 있습니다.

1) 가스 유형 2) 압력 크기

4. 피라니 진공계 측정 범위 및 정확도 측정 범위 (공기 산소 일산화탄소 질소): 5 x 10-4 부터 1000 밀리바 정밀도 (질소):/Kloc

5. 피라니 진공계의 우수한 특성은 정확도와 속도에 영향을 주지 않고 필라멘트 부분을 최대한 보호하고 필라멘트의 수명을 크게 연장시킵니다.

피라니 진공 게이지의 특정 모델

피라니 콘덴서 다이어프램 복합 진공계

1) 피라니 규정과 특수 세라믹 멤브레인 규정이 결합되어 있습니다.

2) 두 가지 원칙이 작동하는 전체 조정 과정.

3) 100 밀리바-1000 밀리바는 박막 압력계 신호를 사용합니다.

4) 1 MBA–100mba 신호도 함께 사용합니다.

5) 5x10-4m bar–1m bar 피라니 신호를 사용합니다.

6) 출력 진공 신호 (전압) 연속 점프 없음.

7) 피라니 진공계는 광복, 코팅, 플라즈마 산업 (예: 조명, 야금 L 진공 연동 제어, 고진공계 점화 스위치 제어) 등 다양한 고진공 펌프의 전면 압력 측정을 적용한다.

둘째, 커패시턴스 필름 게이지

1. 접점식 박막 변형기 작동 원리 L 압력으로 다이어프램이 변형되며 변형량은 압력에 비례합니다. L 은 다른 압력에서 세라믹 다이어프램의 변형을 측정하여 진공도를 측정합니다.

2. 접점식 박막 압력계는 다음과 같은 특징을 가지고 있습니다. L 은 믿을 수 있는 초순수 세라믹 센서실을 기반으로 합니다. L 열악한 부식성 환경에서 안정적이고 신뢰할 수 있는 고정밀 압력 측정 L 신속한 예열 및 복구 시간, 생산성 향상; L 뛰어난 장기 안정성, 재현성 및 반복성; L 전자 부품이 센서에 직접 설치되므로 온도 보상 및 EMC 호환성이 향상되고 환경 조건 변화에 대한 민감도가 낮아져 측정이 더욱 안정되고, 빠르게 예열되고, 빠르고 안정적이며, 부팅 후 1 분 이내에 대기 상태로 들어갑니다. 키 버튼 (0 배치 기능 및 설정점 조정) 도 있습니다. 부식 방지 초순수 세라믹 센서는 대기압 충격을 포함한 수백만 번의 압력 순환을 견딜 수 있으며, 퇴화의 흔적도 없이 대기압에 노출된 후 신속하게 회복된다. 격리 밸브가 필요 없고, L 은 증기 매체에 민감하지 않으며, L 의 고급 센서 차폐 (특허) 은 오염 과정에서 진공계의 수명을 연장시킵니다.

세라믹 기술의 우수성

1) 메모리 효과가 없습니다.

2) 세라믹은 피로 문제가 없다.

3) 최적 온도 보상

4) 제로 안정성, 낮은 사용 비용

5) 뛰어난 서비스 수명

6) 격리 밸브는 필요 없습니다.

4. 측정 범위

5. 열막 압력계

6. 가열형의 장점 L 0 시 이동 최소 0. 1%FS/ 년 (깨끗한 진공 환경) L 정확도 높은 L 주변 온도 변화/환경 압력 변화/환경 기류 변화 정확도에 영향을 주지 않음 L 예열 시작 시간 절차보다 빠른 L 빠른 복구 시간 기압

7. 접점식 박막 변이기의 응용은 응용조건에 대한 요구가 매우 높다. 정확하고 빠른 압력 측정 L 은 각식, CVD, PVD, ALD 반도체 장비 제조 (예: 태양열 광전지 업계의 PECVD, 도자기형은 일반적으로 각식에 사용되며 오염방지 성능이 좋습니다.

셋째, 열전기 편차

1. 열전은 리처슨 효과의 원리에서 벗어난다. 고온등사가 전자를 발사하고, 고에너지 전자가 기체 분자와 충돌하고, 기체 분자의 전자가 하나 이상 부딪혀 양전하가 있는 이온을 형성한다.

1) 전하이온은 이온 수집기에 의해 캡처되어 확대된 출력을 수집합니다.

2) 이온 유량은 기체 압력에 비례한다.

2. 두 가지 유형의 열전기 편차 게이지

3. 열전 방출 복합 압력계 L HP G400l BPG 400/-SP/-SD/SR LBPG 402L BCG 450B-A 압력계, 피라니 압력계 및 박막 압력계가 결합되어 있습니다.

4. 장점 및 응용: l BPG n 은 광범위한 측정 범위를 가지고 있으며 13 측정 범위 5X10-10-10–1 5% nYttrium 도금등사 항산화 성능이 우수하고 피라니 자동 잠금 보호 기능이 있어 갑자기 대기에 노출되어 타지 않습니다. N 교정 조정 편리 N 주의 사항: U 는 기체에 대한 선택성, U 오염 방지 능력이 약하며, N 은 저진공 측정에 광범위하게 사용되며, N 은 산업, 반도체, 과학연구업에 광범위하게 사용되고 있으며, l BPG402 n 쌍등사 (LBPG402N) 는 수명을 크게 늘리고, N 전리 게이지의 작업은 N 프로브 예비 부품의 교정 매개변수를 사용자 정의할 수 있습니다. 정확도와 반복성을 보장하는 l HPG400 n 이온화 게이지 및 피레니의 화합물 N 피레니 자동 잠금 보호 이온화 게이지 N 이온화 게이지의 작동 시작점은 일정 범위 내에서 N 간단한 교정 기능 N 상대적으로 저렴한 가격 l BCG450 n 은 이온화 게이지 작업의 시작 지점 N 우수한 반복성 N 정확한 대기 종점 측정을 조정할 수 있습니다.

넷째, 차가운 이온화 게이지 (panning 게이지)

1. 냉전리계의 원리는 기체 방전을 통해 전자를 생성하고 전자는 자기장을 통해 에너지 전리 기체 분자를 얻는 것이다. 2. 판닝규칙의 특징 및 응용 L 측정 범위: 5x 10-9 부터 0x 1x 10-2 mbar L 전금속 밀봉 L 무전등사 L 은 일반 고진공 측정에 적합합니다.

3.MPG400 냉간 헤딩 기계 특성 및 응용. 냉계와 피라니계의 복합 측정 범위는 5x 10-9- 1000 mbar 입니다. 유지 관리 및 청소가 용이합니다. L 고진공 필라멘트 없음, 일반 고진공 측정을위한 L.