기본 소개 중국어 이름: X-레이 광전자 에너지 스펙트럼 분석 mbth: X-레이 광전자 에너지 스펙트럼 생산 회사: 미국 HP 의 주요 기고자인 siegbahn 의 역사 연혁, 물리적 원리, 시스템 구성, 주요 용도, 응용 사례, 역사 연혁 1887, 하인리히 2 년 후 1907 년 P.D. Innes 는 렌진 튜브, 헬름홀츠 코일, 반구 (전자 에너지 분석기) 및 리소그래피를 사용하여 광대역 방출 전자와 속도의 함수 관계를 기록했습니다. 그의 실험은 실제로 인류 최초의 엑스레이 광전자 스펙트럼을 기록했다. 헨리 모젤, 롤린슨, 로빈슨과 같은 다른 연구원들은 이러한 광대역에 포함된 세부 사항을 연구하기 위해 독립적으로 많은 실험을 했습니다. XPS (X 선 광전자 에너지 스펙트럼) 의 연구는 전쟁으로 인해 중단되었다. 제 2 차 세계대전 이후 스웨덴 물리학자 카이 시그바흐 (Kai siegbahn) 와 우프사라의 연구팀은 XPS 장비 개발에 큰 진전을 이루었고 1954 에서 최초의 고에너지 고해상도 염화나트륨 X 선 광전자 스펙트럼을 얻어 XPS 를 선보였다. 1967 이후 몇 년 동안 siegbahn 은 XPS 기술에 대한 일련의 학술적 성과를 발표해 XPS 의 응용을 세계적으로 인정받았다. HP 는 siegbahn 과 협력하여 1969 년 세계 최초의 상업용 단색 X 선 광전자 분광기를 제조했습니다. 198 1 년, siegbahn 은 XPS 를 중요한 분석 기술로 발전시키는 데 탁월한 공헌을 한 노벨 물리학상을 수상했습니다. X-레이 광전자 스펙트럼은 화학 분석에 가장 유용하기 때문에 화학 분석 전자 스펙트럼이라고 불린다. 최근 영국 VG 에서 제조한' ESCASCOPE' 라는 이미징 X-레이 광전자 분광기는 ES-CA 스펙트럼뿐만 아니라 ESCA 이미지도 얻을 수 있으며, 공간 해상도는 10μm 에 이를 수 있어 표면 분석 기술의 중요한 돌파구로 여겨진다. 물리적 원리 XPS 의 원리는 X 선으로 샘플을 비춰 원자나 분자의 내층 전자나 원자가 전자가 자극을 받아 발사되는 것이다. 광자에 의해 여기 된 전자를 광전자 전자라고합니다. 광전자의 에너지는 측정할 수 있다. 광전자의 운동 에너지/결합 에너지 (EB = HV 빛 에너지 -Ek 운동 에너지 -W 공함수) 를 가로좌표로, 상대 강도 (펄스 /s) 를 세로좌표로 하여 광전자 스펙트럼을 그릴 수 있습니다. 샘플 관련 정보를 얻을 수 있습니다. 시스템 부품 상용 XPS 시스템의 주요 구성 요소로는 X-레이 소스, 초고진공 스테인리스강 실 및 초고진공 펌프, 전자 수집 렌즈, 전자 에너지 분석기, μ 합금 자기장, 샘플 실, 샘플 선반, 샘플 테이블 및 제어 장치가 있습니다. XPS 의 주요 용도는 널리 사용하는 것입니다. 무기 화합물, 합금, 반도체, 중합체, 요소, 촉매, 유리, 세라믹, 염료, 종이, 잉크, 목재, 화장품, 치아, 골격, 임플란트, 생체 재료, 그리스, 접착제 등을 분석하는 데 사용됩니다. XPS 는: 1, 요소 정성 분석을 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 특징선이 스펙트럼에서 나타나는 위치에 따라 H 와 He 를 제외한 모든 요소를 식별할 수 있습니다. 2. 원소의 정량 분석. 스펙트럼의 광전자 스펙트럼 강도 (광전자봉의 면적) 에 따라 원자의 함량이나 상대 농도를 반영합니다. 3, 고체 표면 분석. 표면의 화학성분이나 원소 성분, 원자가격과 표면에너지 분포, 표면전자의 전자구름 분포, 에너지급 구조 등을 포함한다. 4, 화합물의 구조. 내부 전자 결합 에너지의 화학적 변위를 정확하게 측정하여 화학 결합과 전하 분포에 대한 정보를 제공합니다. 분자 생물학의 응용. 예: XPS 는 비타민 B 12 중 소량의 Co 가 있는 것으로 확인됐다. 적용 예 1. 금속 산화물 표면 마스크에서 금속 원자의 산화 상태를 결정합니다. 흑연 또는 탄화물 표면의 탄소를 확인하십시오.