엔드 이펙터, 세라믹 조작기 등으로도 알려진 세라믹 핸들링 암은 로봇 팔의 상단을 형성하며 위치 간 반도체 웨이퍼를 핸들링하고 이동하는 데 사용됩니다.

우리는 점점 기술이 발전하는 시대에 살고 있습니다. 반도체 산업은 360개 산업에서 점점 더 넓은 위치를 차지하고 있으며 산업 체인도 매우 완성되었습니다. 오늘 Junjie Ceramics의 편집자는 반도체 산업에서 사용되는 세라믹 핸들링 암에 대해 이야기할 것입니다. 우리 모두 알고 있듯이 실리콘 웨이퍼는 매우 작은 물체이므로 이송 과정에서 세심한 주의가 필요합니다. 빠르고 안전하게 이동하기 위해 반도체 공정 전 과정에서 실리콘 웨이퍼를 조작하고 핸들링하는 역할을 하는 세라믹 핸들링 암을 디자인했습니다. 진공 채널로 부품을 운반할 수 있을 뿐만 아니라 대형 웨이퍼도 처리할 수 있습니다.

엔드 이펙터, 세라믹 조작기 등으로도 알려진 세라믹 핸들링 암은 로봇 팔의 상단을 형성하며 위치 간 반도체 웨이퍼를 핸들링하고 이동하는 데 사용됩니다. 이는 로봇 손처럼 작동하므로 열적으로나 치수적으로 안정적이고 입자나 화학적 오염물로 챔버를 오염시키지 않는 것이 중요합니다.

과학 연구자들은 수년간의 경험 축적 끝에 반도체 세라믹 암 제조에 더 적합한 소재를 찾아냈는데, 바로 파인 세라믹 소재다. 파인 세라믹 소재로 만든 반도체 세라믹 암은 다른 소재에 비해 높은 내열성과 내마모성을 갖고 있으며, 경도가 다른 소재와 비교할 수 없을 정도로 뛰어나기 때문에 다른 소재에 비해 큰 장점이 있습니다. 웨이퍼/유리 패널의 손상을 줄이고 오염 확산을 방지합니다.

파인세라믹 소재로 제작된 세라믹 운반암 중에서도 알루미나 소재로 제작한 세라믹 운반암의 가성비는 다른 파인세라믹 소재와 비교할 수 없을 만큼 뛰어나다. 고순도 알루미나 세라믹은 높은 기밀성, 강한 내마모성 및 정전기 방지 기능을 갖추고 있으며 Junjie Ceramics로 가공된 알루미나 세라믹 핸들 암의 평탄도는 0.01에 도달할 수 있습니다.

반도체 웨이퍼 핸들링 암은 2200℃의 고온 환경에서 자주 사용됩니다. 20℃ -1000℃에서 어는점 2800℃까지의 열팽창 계수는 13*10∧6에 도달할 수 있으며 이는 도달할 수 없습니다. 많은 재료가 필요합니다. 그러나 고급 세라믹 소재는 알루미나 소재로 제작된 세라믹 핸들링 암이 뛰어난 고온 저항성을 갖습니다.

또한, 반도체 웨이퍼 핸들링 암 역시 높은 경도와 높은 내마모성을 요구합니다. 파인 세라믹으로 만들어진 핸들링 암의 경도는 다이아몬드에 뒤지지 않을 뿐만 아니라 내마모성도 훨씬 높습니다. 강철 및 크롬 강철의 내마모성. 세라믹 핸들링 암은 다른 재료보다 내마모성과 경도가 우수합니다. 알루미나 세라믹의 내마모성과 경도는 세라믹 핸들링 암의 요구 사항을 완전히 충족할 수 있으며 다른 정밀 세라믹 재료보다 저렴합니다.