그것은 마이크로 일렉트로닉스 기술을 바탕으로 발전한 교차 학과 프론티어 연구 분야이다. 40 여 년의 발전을 거쳐, 그것은 이미 세계가 주목하는 주요 과학 기술 분야 중 하나가 되었다. 전자, 기계, 재료, 물리, 화학, 생물학, 의학 등의 학과와 기술을 포괄하여 응용 전망이 넓다.

20 10 연말까지 전 세계 약 600 개 회사가 MEMS 연구와 생산에 종사하여 마이크로압력 센서, 가속도센서, 마이크로잉크젯 프린트 헤드, 디지털 마이크로미러 모니터 등 수백 가지 제품을 개발했는데, 이 중 MEMS 센서가 상당한 비중을 차지하고 있다. MEMS 센서는 마이크로전자와 마이크로기계 가공 기술을 이용하여 만든 신형 센서입니다.

확장 데이터

적용-

MEMS 센서는 무창태심율 검사에 적용되며, 태심률을 감지하는 것은 기술적인 작업이다. 태심률이 빠르기 때문에 전통적인 청진기와 확대 기능이 있는 초음파 도플러기로 수작업을 정확하게 측정하기 어렵다. 분당 L20 ~ 160 회 사이다.

디지털 디스플레이 기능을 갖춘 초음파 도플러 태심 모니터는 가격이 비싸 소수의 대형 병원에서만 사용할 수 있어 중소병원과 광대한 농촌에서는 보급할 수 없다. 또한 초음파 진동파는 태아에게 작용하여 태아에게 큰 악영향을 미칠 수 있다. 검사 복용량은 매우 낮지만 파괴적인 탐지의 범주에 속하며 반복적이고 반복적인 검사와 가정 사용에 적합하지 않다.

바이두 백과 -MEMS 센서