다결정 저항 간섭의 원인은 다결정 입자 구조, 도핑 복용량, 어닐링 조건 때문이다. 금속을 만들 때 스퍼터링, 에칭, 어닐링 등의 공정과 칩이 작동할 때 금속의 신호 (특히 시계 등 신호) 의 변화는 모두 금속 아래의 저항에 영향을 미친다.