1, OPC 기술은 마스크 그래픽의 투과율 분포를 조정하여 광학 근접 효과를 보정하여 이미징 품질을 향상시킵니다.
2. 광각 계산은 컴퓨터를 이용하여 광화학 반응과 물리적 과정을 시뮬레이션하여 이론적으로 광각 프로세스 매개변수의 최적화를 지도하는 것이다. (윌리엄 셰익스피어, 리소그래피, 리소그래피, 리소그래피, 리소그래피, 리소그래피, 리소그래피)