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웨이퍼를 어떻게 측정합니까?
집적 회로의 경우 일반적으로 4 인치 웨이퍼의 두께는 0.520 mm 이고 6 인치 웨이퍼의 두께는 입니다

0.670 mm 정도에서는 웨이퍼가 얇아져야 합니다. 그렇지 않으면 커터에 큰 손실이 발생하고 두 번 긁힐 수 있습니다. 우리는 DIP 패키지를 만들었는데, 4 인치 웨이퍼는 0.300mm; 까지 얇아야 한다. 6 인치 칩은 약 0.320mm, 오차는 0.020mm 로 얇아야 합니다 .....

측정기기의 두께는 마이크로미터로 측정하고, 막두께는 일반적으로 열파계로 측정한다. 다른 점의 두께를 측정하여 평균 막 두께를 얻습니다. 일반적으로 같은 시간에 필름의 균일성을 반영하여 시뮬레이션된 등고선을 볼 수 있습니다.