低于10^3Pa。在使用分子泵开始抽取腔体之前，需要先将腔体内部的气体排出来，使得腔体内部达到较低的压力，这个压力被称为起抽压力，分子泵的起抽压力应该低于10^3Pa，以确保有效地排出腔体内的气体，避免污染物质的残留。