对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,ZLDS/N-100高精度位移传感器是一款非常理想的测量工具。
ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率。位移传感器的起始测量距离是3mm,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。位移传感器可以相当于一个高分辨率的电容传感器。
位移传感器主要特点:
高分辨率,可替代电容式传感器;
对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用;
宽频带,可测高频振动体;
对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振。