目前常用的厚度测量仪有三种，激光测厚仪、射线测厚仪与超声波测厚仪。

激光测厚仪是由上下两个对射的激光测距传感器组成的，工作时上下两个传感器分别测量传感器与被测物上、下表面的距离，用两个传感器之间的总距离减掉两个传感器测量的距离即可得到被测物的厚度。激光测厚仪的优点在于它是非接触测量，不会因为磨损而损失精度，尤其适用于对运动物体的测量。而且，相对于超声波测厚仪精度更高，相对X射线测厚仪没有辐射污染。

射线测厚仪使用X射线源。进入电离室的X射线，其中一部分和电离室壁以及电离室内所充的气体发生光电效应和散射。其次级电子使电离室内的气体产生正负离子。在电离室电极电压的作用下分别流向负、正极。正、负极收集到的电流为10－9A～10－8A量级。通过静电计转变为电压信号。由探头内的静电计的输出电压U(T)和厚度值T的关系，计算出厚度值T是电子学电路和计算机的任务。

超声波测厚仪是采用最新的高性能、低功耗微处理器技术，基于超声波测量原理，可以测量金属及其它多种材料的厚度，并可以对材料的声速进行测量。

不同的测厚仪也应用于不同的场合，不能一概而论，一般的整体厚度尺寸检测可以选用激光测厚仪，而射线测厚仪与超声波测厚仪则可测量涂镀层厚度，要根据生产的检测需求选择合适的测厚仪。