如果直接暴露在大气压下会导致泵内压力过高，从而碎泵。分子泵是一种机械式增压泵。通过动翼将分子流导入，再通过静翼阻止气体分子的返流，如此将气体分子进行层层压缩，达到抽气效果。分子泵需要前级泵将压力抽至几十Pa时才能启动工作，分子泵用在提高真空的环境。

复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内具有较大的抽速和较高的压缩比，大大提高了泵的出口压力。

法国 Alcatle 公司生产的一种采用气体静压轴承和动密封的复合分子泵，可以做到完全无油，且不用前级泵直接向大气中排气。

盘式牵引级是在平板圆盘平面上按一定规律开出数条型线沟槽，然后将数块圆盘串接起来构成，型线有阿基米德螺线、对数螺线、圆弧线等。

复合式分子泵的形式很多，按结构分，主要有两种，一种是涡轮叶片与盘式牵引泵的串联组合；另一种是涡轮叶片与筒式牵引泵的串联组合。涡轮级主要用来提高泵的抽速，一般采用有利于提高抽速的叶片形状，级数在 l0 级以内。