磁控溅射中的靶材确实分为金属合金靶和陶瓷靶。金属合金靶主要由纯金属或金属间的合金组成，而陶瓷靶主要由金属氧化物、氮化物、硼化物等无机非金属化合物组成。尽管金属氧化物的靶材含有金属成分，但它们被称为陶瓷靶的原因在于其结构和性质。

陶瓷是一种无机非金属材料，通常具有以下特点：

1. 高熔点和高硬度：与金属材料相比，陶瓷材料通常具有较高的熔点和硬度。

2. 良好的耐磨性和抗氧化性：由于其高硬度和稳定的化学性质，陶瓷材料通常具有良好的耐磨性和抗氧化性。

3. 低热导率和低电导率：与金属材料相比，陶瓷材料通常具有较低的热导率和电导率，表现出绝缘或半导体特性。

金属氧化物靶材，如ITO（锡-铟氧化物）、AZO（锆-铝氧化物）和ZnO等，虽然含有金属元素，但它们在结构和性质上与陶瓷材料更为接近。例如，它们具有较高的熔点、稳定的化学性质、低热导率和低电导率等特点。因此，将金属氧化物靶材称为陶瓷靶可以更好地反映其结构和性质，以便在溅射过程中选择合适的靶材。