1、真空热处理可实现无氧化、无脱碳、无渗碳加热。

2、有脱脂除气等作用，从而达到表面光亮净化的效果。

3、零件经真空热处理后，畸变小，质量高。

4、基本上无公害。

4、真空加热炉可在较高温度下工作。

5、某些化学热处理，如渗碳、渗氮、渗铬、渗硼，以及多元***渗速度较快，省时间，效率较高。