高效过滤器是无尘室洁净度得以维持的关键部件，所以高效过滤器的质量非常重要。其中最重要的就是它的简陋。方法比较多，有钠焰法，计数器扫描法，还有DOP检漏。

钠焰法比较传统的方法，误差比较大，而DOP的检漏方法，是比较准确，但是操作比较复杂，而且成本比较大，一个光度计加DOP发生器，进口的总***得要十几万。

所以较多的是尘埃粒子计数器扫描法。用粒子计数器加DOP发生器。

尘埃粒子计数器扫描法

《洁净室施工及验收规范》中规定，被检高效过滤器必须已检测过风量，并设计风速80%-120%之间运行，、使用最小采样量>1L/min的粒子计数器扫描法，对高效过滤器安装接缝和主断面进行扫描检测，检测点应距被测表面20-30mm，测头以5-20mm/s的速度移动，对被检过滤器整个断面、封胶头和安装框架处进行扫描。

由高效过滤器下风侧泄漏浓度换算成的穿透率来衡量是否合格，其合格标准如下。

在工程上，对于大于100级的净化系统一般采用的粒子计数器的最小粒径通道为0.3μm。所以，被检高效过滤器在上风侧的微粒浓度受控粒径为≥0.5μm，其浓度必须≥3.5×10pc/L，而一般大气尘4的浓度为5.3×10-2.5×10pc/L，这到了尘埃粒子计数器的读数上限范围。

在许多净化系统中，进入循环空调箱的新风经过过滤器的处理，浓度远远小于大气尘浓度，和回风混和后的浓度会更低。因此，在安装好的净化空调系统中引入大气，是值得慎重思考的问题。

因此要用DOP发生器，来产生标准粒子，DOP粒子发生器产生大量稳定的符合要求的微粒子，以造成上游≥0.3μm粒子浓度大于或等于1×10pc/L。在过滤器上游通过压缩空气(冷发生)将DOP微粒均匀喷射在系统内，由于浓度一般大于1×10pc/L，超出检测仪器测量范围，所以在检测仪器前串联粒子浓度稀释器，使被测浓度在检测仪器测量范围。对出厂效率为99.97%的高效过滤器检漏时，实测所得透过率应低于0.06%，即实测所得颗粒浓度小于

0.06%C1(C1 为上游浓度)。

以规格为610×610高效过滤器为例，建议采用采样周期为一分钟，速率为50mm/s。检漏前用高约500mm的围挡放在高效过滤器的四周，可以防止高效过滤器外框以外的气流形成涡流，影响扫描测试的结果。过滤器的泄漏主要原因是外框密封圈的密封效果不好，或者滤料不够平整严密。实际应用中安装泄漏主要来自于外框，外框密封条的质量与泄漏有很大关系。因此，工程上检漏时会在高效过滤器得四周加放围挡，减小风口围挡下部出口面积时，围挡内形成一定正压。