천진화해청과 기계기술유한공사 ("화해청과") 는 천진시 정부와 칭화대가 공동 출자하여 설립한 유한책임회사로, 중국 CMP 기술과 설비의 산업화를 추진하기 위한 것이다. 회사는 천진시 진남구 해하 테크노파크에 위치하고 있다. 회사는 준비부터 설립까지 천진시 각급 정부와 칭화대학의 전폭적인 지지를 받았다.
칭화대 R&D 팀은 국가 과학기술의 중대한 전문' 초대형 집적 회로 장비 및 세트 공예' (이하' 02 프로젝트') 를 실시함으로써 초저전압 CMP 장비와 공예의 핵심 기술을 습득하여 국내 최초의 구리 공예 마감을 위한' 건조 건조' CMP 설비를 성공적으로 개발해 산업화 능력을 초보적으로 갖추고 있다. -응?
화해청과 등록자본 6 천만 원. 회사는 청화대 CMP 설비의 핵심 기술과 백본 팀을 보유하고 있다. 자원 통합과 인재 도입을 통해 자율적인 핵심 기술과 강력한 과학팀을 보유한 하이테크 회사가 되었습니다.
제품 및 서비스:
Universal-300 Plus 는 시장 수요에 따라 개발된 새로운 12 인치 CMP 장치입니다. 4 개의 마감 장치와 단일 청소 장치가 있어 다양한 종점 감지 기술을 통합하여 45 ~ 130 nm 산화물 /STI/Poly/Cu/W CMP 와 같은 다양한 프로세스 요구 사항을 충족합니다.
Universal-300 T 는 300 X 모델을 기반으로 향상된 조합 클리닝 기술을 갖추고 있어 28nm 이하의 논리 공장 및 1xnm 스토리지 공장의 산화물/Sin/STI/Poly/CU/를 충족하는 향상된 세척 효과를 제공합니다.