1, 변형 압력 센서 변형 압력 센서는 주로 탄성 요소의 변형을 측정하여 압력을 측정합니다. 재료에 따라 변형률 요소는 금속과 반도체로 나뉜다. 도체와 반도체 재료가 기계적으로 변형되면 저항 값이 변경됩니다.
2. 압력저항식 압력센서 압력저항식 압력센서는 단결정 실리콘 소재와 집적 회로로 만든 센서입니다. 단결정 실리콘 재질이 힘의 작용을 받으면 저항률이 변한다. 이때 회로를 측정하여 힘 변화에 비례하는 전기 신호를 출력합니다. 붙여 넣기 스트레인 게이지와는 달리, 측정된 압력은 주로 실리콘 다이어프램을 통해 감지된다.
3. 용량 성 압력 센서 용량 성 압력 센서는 주로 커패시턴스를 사용하여 측정 된 압력을 용량 값의 변화에 대한 압력 센서로 변환합니다. 콘덴서의 전극은 원형 금속막이나 금속 도금막이다. 필름이 압력 하에서 변형되면 콘덴서가 바뀌고 전기 신호가 형성된다.
4. 압전 압력 센서 압전 압력 센서는 압전 효과를 이용하여 전기 부품 등 기계를 이용하여 압력을 전기로 변환하여 관련 측정 작업을 진행한다.
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