중국 최대 리소그래피 기계 제조업체.

상하이 마이크로 일렉트로닉스

현재 상하이 마이크로전자는 최첨단 SSA600/20 시리즈 리소그래피 기계를 양산하고 있으며 193nmArF 광원 기술을 사용하여 로우엔드 90nm 칩에 사용할 수 있습니다. 더 중요한 것은 상하이 마이크로전자의 리소그래피 장비가 국내 로우엔드 리소그래피 장비 분야에서 거의 80% 의 시장 점유율을 차지하고 있다는 점이다. 국내 관매에 따르면 상하이 마이크로전자 28nm 공예 노드의 차세대 리소그래피 기계가 내년에 양산될 수 있다는 것은 국산 리소그래피 설비가 곧 중국 세대교체의 물결을 일으킬 것이라는 것을 의미한다. 중대한 기술 돌파를 획득한 상해 마이크로전자는 미래 발전 잠재력이 무한하다. 상하이 마이크로일렉트로닉스 설비유한공사는 장강 하이테크 단지에 위치해 있으며 국가 집적 회로 산업기지, 국가 반도체 조명산업기지, 국가 863 정보안전성과산업화 (동부) 기지 등 여러 국가급 기지에 인접해 있다. 2002 년에 설립된 이 회사는 R&D, 대규모 산업 생산용 프로젝션 리소그래피 기계의 생산, 판매 및 서비스에 주력하고 있습니다. 그 제품은 IC 제조와 고급 패키징, MEMS, TSV/3D, TFT- 유기 발광 다이오드 등 제조 분야에 광범위하게 적용될 수 있다.

현재 중국의 리소그래피 기계 제조업체는 급속히 발전하고 있습니다. 비록 그들이 서방 국가보다 한 걸음 뒤떨어졌지만, 미래는 밝다. 리소그래피 기계의 종류와 브랜드는 다양하고 중요한 기능도 다릅니다. 마스크 정렬 노출기, 노출 시스템, 리소그래피 시스템이라고도 하는 MaskAligner 는 칩을 만드는 핵심 장치입니다. 사진 인쇄와 유사한 기술을 사용하여 노출을 통해 마스크의 미세한 패턴을 실리콘 조각에 인쇄합니다. 리소그래피 기계 브랜드는 매우 다양하며, 기술 노선에 따라 다음과 같은 범주로 나눌 수 있습니다. 하이 엔드 프로젝션 리소그래피는 스텝프로젝션과 스캔 프로젝션 리소그래피로 나뉘며, 해상도는 보통 7 나노미터에서 몇 미크론 사이입니다. 최고급 리소그래피 기계는 세계에서 가장 정교한 기기라고 불리며, 세계에는 가격12 억 달러의 리소그래피 기계가 있다. 하이 엔드 리소그래피 기계는 현대 광학 산업의 꽃이라고 할 수 있으며 제조가 매우 어렵습니다. 전 세계 소수의 회사만이 제조할 수 있습니다. 외국 브랜드는 주로 네덜란드의 아스맥 (독일 카메라), 일본의 니콘 (고급 리소그래피 기계, 인텔에서 니콘을 산 적이 있음), 일본의 캐논이다. 중국 상하이에 위치한 SMEE 는 자주지적재산권을 지닌 투영식 중형리소그래피 기계를 개발해 제품 라인을 형성하며 국내외 판매를 초보적으로 실현하였다. R&D 및 기타 제품군의 생산이 진행 중입니다. 생산 라인 및 R&D 용 로우 엔드 리소그래피기는 일반적으로 해상도가 몇 미크론 이상인 근접 및 접촉 리소그래피기입니다. 주로 독일 sus, 미국 MYCRONXQ4006, 중국 브랜드가 있습니다.

리소그래피 기계는 일반적으로 조작의 단순성에 따라 수동, 반자동 및 완전 자동화의 세 가지 유형으로 나뉩니다. A 수동: 정렬 조정 방법을 나타냅니다. 즉, 손잡이를 수동으로 조정하여 X 축, Y 축 및 thita 각도를 변경하여 정렬을 완료합니다. 정렬 정확도는 예측할 수 없을 정도로 낮습니다. B 반자동: 축을 통해 CCD 에 따라 위치를 지정하고 조정할 수 있습니다. C 자동: 베이스보드에서 다운로드 업로드, 노출 시간 및 주기는 프로그램에 의해 제어됩니다. 자동 리소그래피 기계는 주로 공장의 처리 능력에 대한 수요를 만족시킨다. 고정밀 정렬 시스템 제조에는 거의 완벽한 정밀 기계 기술이 필요한데, 이는 국산 리소그래피 기계가 따라올 수 없는 기술적 난점 중 하나다. 많은 미국 독일 브랜드의 리소그래피 기계에는 전문적인 특허 기계 기술 설계가 있다. 예를 들어, Mycron &；; Q 리소그래피 기계는 전체 공압 베어링 설계 특허 기술을 사용하여 베어링 기계 마찰로 인한 프로세스 오류를 효과적으로 방지합니다. 시스템을 조준하는 또 다른 기술적 문제는 현미경을 조준하는 것이다. 현미경의 시야를 높이기 위해 많은 고급 리소그래피 기계가 LED 조명을 사용합니다. 초점 기능이 있는 두 개의 정렬 시스템이 있습니다. 주로 1 현미경 본체, 접안 렌즈 및 대물 렌즈에 쌍안 이중 시야 정렬 (일반적으로 리소그래피 기계는 사용자가 함께 사용할 수 있도록 다른 배율의 접안 렌즈와 대물 렌즈를 제공합니다). CCD 정렬 시스템의 역할은 마스크와 샘플의 정렬 표시를 확대하고 모니터에 이미지를 표시하는 것입니다.