광학필름두께측정기(SpectraThick 시리즈)의 핵심기술 및 원리 소개

SpectraThick 시리즈의 특징은 시료 전처리 없이 비접촉, 비파괴 측정이 가능한 것입니다. 처리 및 소프트웨어 지원 Windows 운영 체제 등 ST 시리즈는 가시광선을 이용하여 웨이퍼, 유리 등의 기판 위에 형성된 산화막, 질화막, 포토레지스트 등 비금속막의 두께를 측정하는 장비입니다.

측정 원리는 측정된 웨이퍼나 유리에 있는 필름에 가시광선을 수직으로 비추는 것인데, 이때 빛의 일부는 필름 표면에서 반사되고 나머지 부분은 투과된다. 필름을 통과시킨 후 필름과 바닥층(웨이퍼 또는 유리) 인터페이스 반사 사이를 통과합니다. 이때, 필름 표면에서 반사된 빛은 필름 바닥에서 반사된 빛과 간섭하게 됩니다. SpectraThick 시리즈는 이러한 간섭 현상을 이용하여 막 두께를 측정하는 장비입니다.

기기의 광원은 텅스텐 램프를 사용하며, 파장 범위는 400nm~800nm이다. ST2000부터 ST7000까지 이 원리를 사용하여 측정 영역의 직경 크기는 4μm ~ 40μm(2μm ~ 20μm 선택 사항)입니다. (주)케이맥의 대표 제품 중 하나인 ST8000-Map은 영상처리 기능을 탑재하여 일반 막두께 측정기의 한계를 뛰어넘은 신개념 두께 측정기입니다. 측정 영역의 최소 직경은 0.2μm로 일반 두께 측정기의 측정 한계(4μm)를 훨씬 뛰어넘습니다. 수십 개의 점을 순차적으로 측정해야만 얻을 수 있는 두께 맵(Thickness Map)도 한번에 측정할 수 있어 속도와 정확도가 크게 향상됩니다. 이 기술은 특허를 받았습니다.

K-MAC SpectraThick 시리즈의 또 다른 장점은 일반 장비로는 측정할 수 없는 거친 표면(철판, 동판 등)에 형성된 피막 두께도 측정할 수 있다는 점이다. 이것이 VisualThick OS라는 새로운 개념의 측정 원리입니다. 막두께 측정 외에도 유리 위에 형성된 ITO막의 투과도, 표면저항, 접촉각 등을 측정하는 기능도 가지고 있습니다.

제품 설명

이 장비는 측정 대상물에 UV-Vis 빛을 조사하고 측정 대상물에서 반사된 빛을 이용하여 필름의 두께를 측정하는 제품입니다.

이 제품은 주로 도체박막의 연구개발이나 생산에 사용되며, 특히 반도체 및 관련 디스플레이 작업의 인라인 모니터링 장비로 사용됩니다.

제품 특성

1) 빛을 사용하기 때문에 비접촉, 비파괴적이며 실험시료에 영향을 미치지 않습니다.

2) 필름의 두께와 n,k 데이터를 얻을 수 있습니다.

3) 측정이 빠르고 정확하며 측정을 위해 실험시료를 파기하거나 가공할 필요가 없습니다.

4) 3개 레이어 내에서 다층 필름을 측정할 수 있습니다.

5) 용도에 따라 수동형과 자동형을 자유롭게 선택하실 수 있습니다.

6) 제품은 다양한 스타일로 제공되며 고객 요구 사항에 따라 제품을 디자인할 수도 있습니다.

7) Wafer/LCD의 필름 두께 측정 가능(Stage size 3")

8) Table Top 타입으로 대학, 연구실 등에 적합합니다.