우리나라는 처음으로 킬로그램급 MEMS 위성의 연구 작업을 제기하고 전개했다. MEMS 기술의 발전을 바탕으로 이 글은 새로운 개념인 MEMS 위성의 개발을 제안하고 관련 MEMS 부품 개발을 바탕으로 원리 원형의 개발을 완료했다.
성공적으로 MEMS 기술과 공간 응용 기술을 결합하여 MEMS 기술을 기반으로 한 우주선 기능 부품의 소형화 문제를 제기하고 * * * 진동 터널 기술을 기반으로 한 자기 센서 및 관성 센서 연구 및 마이크로 공간 광학 센서 연구를 실시하여 샘플 개발을 완료했습니다.
MEMS 실리콘 팽이, MEMS 시간 팽이, 마이크로광섬유 팽이, MEMS 실리콘 가속도계를 기반으로 한 마이크로관성 측정 장치 (MIMU) 를 개발하여 저정밀도 관성 센서의 통합 응용 문제를 창조적으로 해결했습니다. 성과는 정보산업부의 기술 평가를 통해 국제 선진 수준에 처해 있으며, 이미 대형 절대측정 (국가 발명 특허), 탄기 분리 순간 자세 측정, 위성 자세 측정 통제 등에 광범위하게 적용되었다. 2003 년 베이징시 과학기술진보 2 등상을 수상했다.
처음으로 근적외선 레이저 산란 원리에 기반한 반도체 소재 미세 결함 무손실 탐지를 위한 새로운 방법을 제시하고 원형을 개발했다. 표면 미세 균열 레이저 초음파 검사 기술에 관한 혁신적인 연구. 성과는 정보산업부의 기술 평가를 통해 국제 선진 수준에 있으며 관련 성과는 국가 발명 특허를 획득했다. 2004 년 베이징시 과학기술진보 2 등상을 수상했다.
국내에서 처음으로 MEMS 어레이 마이크로추력기 개발을 실시하여 제어층, 점화층, 추진층, 추력층으로 구성된 6'6 마이크로추력기 원형을 제안하고 실현하였다.