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다이아몬드 형 탄소막의 분류
금강석 탄소막 (DLC) 은 1 종 비결정막으로 수소없는 DLC 막 (a-C) 과 수소화수소 DLC 막 (A-C: H) (그림 2) 으로 나뉜다. 수소가없는 다이아몬드 탄소막은 주로 SP3 및 SP2 결합이있는 탄소 원자로 구성된 3 차원 네트워크 인 a-C 막과 주로 80% 이상의 탄소 원자가 SP3 키로 구성된 사면체 탄소 (ta-C) 로 구성됩니다. 수소화형 금강석 박막 (A-C: H) 은 폴리머탄소 (PLC), 금강석 탄소, 흑연탄소의 세 가지 유형으로 나눌 수 있으며, 그 3 차원 네트워크 구조에도 일정량의 수소가 결합되어 있다.

고분자 비정질 탄소는 수소 함유 다이아몬드 박막으로, 무정형이며 중합체와 유사한 화합물을 가지고 있으며, 동일한 단순 구조 단위가 원자가 결합을 통해 반복적으로 연결되어 있습니다. 이런 종류의 금강석 탄소막은 SP2 키가 다량을 차지하기 때문에 비교적 부드럽고 흑연의 특성이 없어 그 응용을 제한하고 마찰학에서 아직 초기 단계에 있다.

금강석 탄소막 (DLC 막) 은 금강석 구조를 가진 비결정질 탄소막으로, 여기서 확실히 소개할 필요가 있다. DLC 막의 기본 성분은 탄소이다. 탄소원과 제비 방법이 다르기 때문에 DLC 박막은 수소와 수소가 없는 두 가지 범주로 나눌 수 있다. DLC 막은 장거리 무질서를 가진 준 안정 비정질 재료입니다. 탄소 원자 사이의 결합 방식은 * * * 가격 키로, 주로 SP2 와 SP3 의 두 가지 잡동사니를 포함한다. 수소 함유 DLC 막에도 일정한 수의 C-H 키가 있다. 1996 부터 우리는 자기 필터 진공 아크와 퇴적 DLC 막 연구를 시작하여 산업화 기술을 개선하고 있다. 플라즈마 소스 퇴적, 이온빔 소스 퇴적, 이중 중간 주파수 마그네트론 스퍼터링, 진공 음극 아크 퇴적 및 펄스 고압 방전 등이 있습니다. 제비방법에 따라 얻은 DLC 막의 성분, 구조 및 성능이 다르다.

다이아몬드 박막 (DLC 박막) 은 경도, 내마모성, 열전도율, 고저항률, 광학 투명성, 화학적 타성 등 다양한 뛰어난 성능을 갖춘 새로운 경질 박막 소재입니다. 기계, 전자, 광학, 열학, 음향, 의학 등에 광범위하게 적용될 수 있으며, 좋은 응용 전망을 가지고 있습니다. 우리는 플라즈마-이온빔 소스 강화 퇴적 시스템을 개발했으며, 이 시스템에서 자기 필터 진공 음극 호와 불균형 마그네트론 스퍼터링을 통해 DLC 박막을 준비했다.

이 기술은 전자, 장식, 항공우주, 기계, 정보 등에 광범위하게 적용되어 마찰과 광학 기능에 사용된다. 현재 중국의 기술은 발전 개선 단계에 있으며 시장 잠재력이 크다.

흑연탄소는 마지막 수소 함유 금강석 탄소로 흑연과 비슷한 특성을 가지고 있으며, SP2 의 함량은 약 70% 이다. 현대에서 금강석 탄소막은 고경도와 저마찰 계수로 많은 관심을 받고 있다. 그러나 금강석 탄소막과 공업에서 일반적으로 사용되는 철계 재료 사이에는 일종의' 촉매 효과' 가 있다. 즉, 전기 도금 도구의 고경도 모래 결합제는 검은색 금속 가공 과정에서 소프트 키 보호로 전환되어 내마모성이 급격히 떨어지게 함으로써 적용 범위를 제한한다. 류상품 등은 이온빔 보조 퇴적 기술을 이용하여 전자기 기능 요구 사항을 충족하는 흑연화막을 준비하고 고경도' 탄소 구조' 를 제시했다. 이후 영국과 회사는 완전히 폐쇄된 불균형적 마그네트론이 고경도 탄소막을 튀기는 특허를 준비했다. 독서 연구에 따르면, 주로 모래알 구조로 이루어져 있으며, 강철 소재와 마찰할 때' 촉매제 효과' 가 없고, 경도가 적당하며, 마찰계수가 작으며, 마모율보다 한 단계 낮은 것으로 나타났다. 우수한 마찰 성능을 가진 탄소막의 구조와 성능은 제비공예와 크게 관련이 있다. 이 방법을 사용하면 보조 폭격 매개변수를 제어하여 코팅의 구조를 변경할 수 있으며, 마그네트론 스퍼터링 증착 속도가 높아 두꺼운 코팅을 만들 수 있습니다. 이 탄소막은 보통 흑연도 흑연도 아니기 때문에 일시적으로 흑연탄소막이라고 불린다.