[발명] 광학 연삭기와 이 연삭기를 사용하여 반도체용 사파이어 결정체 라이닝을 가공하는 방법.
특허 번호 200310121135.5
현재 법적 상태에서 권리 없음-연회비 권리 양도 없음
다이제스트: 본 발명은 광학 부품 표면 가공 기술 분야에 속하며, 광학 연삭기와 이 연삭기로 반도체를 가공하는 사파이어 결정체 라이닝을 다루는 방법을 다루고 있습니다. 그라인더는 랙, 워크벤치 패널, 풀, 모터 및 모터로 구동되는 수직 힌지로 구성되며, 샤프트 상단에는 하단 맷돌, 상단 맷돌 지지 압축 매커니즘, 하단 맷돌에 설치된 상단 맷돌 및 냉각수 컨베이어 장치가 있습니다. 아래쪽 연삭 디스크는 섀시, 내부 링 기어, 외부 기어 태양 휠 및 섀시에 설치된 여러 행성 디스크로 구성됩니다. 가공 방법에는 탄화 규소 맷돌을 사용하고, 탄화붕을 연마재로 하여 굵게 연마하고, 폴리우레탄막을 연마가죽으로 연마하고, 실리콘 슬러리로 광택을 내는 것이 포함된다. 본 발명은 가공 효율이 높고, 가공 비용이 낮고, 가공 정확도가 높은 특징을 가지고 있어 반도체용 광학 사파이어 결정체 라이닝의 가공 요구 사항을 충족시킬 수 있어 산업화에 유리하다.
[실용 신안] 광학 연삭기 -200320 127697.6
권리 없음-연회비 지불 안 함
신청자: 왕개청
신청일: 2003- 12- 16
본 발명은 광학 부품 표면 가공 기술 분야에 속하며, 광학 연삭기와 이 연삭기로 반도체를 가공하는 사파이어 결정체 라이닝을 다루는 방법을 포함한다. 그라인더는 랙, 워크벤치 패널, 풀, 모터 및 모터로 구동되는 수직 힌지로 구성되며, 샤프트 상단에는 하단 맷돌, 상단 맷돌 지지 압축 매커니즘, 하단 맷돌에 설치된 상단 맷돌 및 냉각수 컨베이어 장치가 있습니다. 아래쪽 연삭 디스크는 섀시, 내부 링 기어, 외부 기어 태양 휠 및 섀시에 설치된 여러 행성 디스크로 구성됩니다. 이 실용적인 신형은 가공 효율이 높고, 가공 원가가 낮고, 가공 정확도가 높은 특징을 가지고 있어 반도체용 광학 사파이어 결정체 라이닝의 가공 요구 사항을 충족하고 산업화에 유리하다.
광학 사파이어 결정 기판 연삭 공정
권리 없음-연회비 지불 안 함
신청번호: 03 14 1638.438+0.
신청일: 2003 년 7 월 -65438+6 월.
요약: 본 발명은 광학 사파이어 결정체 기판의 연마 공정을 공개했다. 주로 거친 연마, 마무리 및 마감 공정 단계를 포함한다. 본 발명의 연마 공정을 통해 얻은 사파이어 결정체 라이닝의 1 차 합격률은 98.5% 보다 크고, 표면 거칠기는 0.3 nm 미만이며, 평탄도는 5 미크론보다 작고, 평탄도 평행도는 0.025mm 이며, 두께 치수 공차는 0.025mm 보다 작습니다 .....
신청자: 상하이 신 중국 산업 주식 회사
발명가: 왕개청
[실용 신안] 양면 연삭 정밀 연삭 장비
특허 번호 03255659.4
권리 없음-연회비 지불 안 함
신청자: 상하이 신 중국 산업 주식 회사
신청일: 2003 년 7 월 -65438+6 월.
이 실용적 신형은 침대, 조작 제어소, 공압장치, 연삭액 펌프, 전기 제어 시스템, 침대 끝면에 장착된 스핀들, 스핀들 하단이 침대 안에 장착된 스핀들 기어 박스와 연결된 양면 연삭 정밀 연삭 설비를 포함한다. 스핀들 상단에는 기어가 장착되어 있고, 스핀들 외부 링은 각각 아래쪽 맷돌과 내부 톱니바퀴가 들어 있습니다. 플래터에 행성 기어를 장착할 수 있습니다. 행성 기어는 주축의 상단 기어와 내부 톱니바퀴와 맞물려 공전과 자전을 모두 합니다. 상단 스크러빙은 슬라이더를 통해 침대 위에 장착된 캔틸레버의 한쪽 끝에 힌지를 맞추고 공압 장치에 의해 위아래로 움직입니다. 실용 신안은 구조가 간단하고, 가격이 저렴하며, 수리가 편리하고, 가공 비용이 낮으며, 광학 사파이어 결정체 라이닝의 연삭에 사용할 수 있다.