구체적인 수상자 명단에서 중과원 장춘광기소의 광각광기술 및 응용종목은 여러 상을 수상했으며, 그 중 13 수상종목은' 극자외선 각광기술' 으로, 이어 길림성 과학기술진보 1 등상을 수상했다.
수상자 명단에서 볼 때, 이것은 방대한 과학 기술 공관 프로젝트이지, 단일 R&D 가 아니라, 관련 기술이 확실히 돌파를 이루었고, 적어도 관련 프로젝트는 이미 검수되거나 보완되었다.
객관적으로 말하면, 리소그래피 기술의 돌파구는 결코 간단하지 않다. EUV 리소그래피기에는 EUV 조명 시스템, 고정밀 아크 미러 시스템 및 초고밀도 진공 이중 워크벤치 등 세 가지 핵심 기술이 있습니다.
EUV 조명 시스템 기술은 20 12 년 아스메르에 인수된 미국 사이머 회사입니다. 레이저 빔, 대물 렌즈 시스템, 독일 채스 기술 등을 수집하는 고정밀 아크 반사경 시스템 초정밀 진공 2 급, 독일 기술, 전체 패키징 방안은 독일 통속회사에서 제공합니다.
장춘광기연구소 과학연구부
2065 438+05 2 월 공식 홈페이지 연구소에 따르면 국가중점연구실 3 개, 국가중점공학센터 2 개, 중과원 중점연구실 2 개.
또한 연구소에는 공간광학연구부, 공간광학연구부, 공간광학연구부, 항공영상측정기술연구부, 광전대항연구부, 광전측정연구부, 영상처리기술연구부, 광학기술연구센터가 설치돼 있다.
무인기 연구부, 광전 탐지 기술 연구부, 래스터 기술 연구센터, 광전기 기술 R&D 센터, 별재종합기술연구센터, 우주로봇센터, 초정밀 광공학연구센터, 3D 이미징, 가상현실기술연구센터 등 과학연구부문.
국가 중점 실험실: 응용 광학 국가 중점 실험실, 발광 및 응용 국가 중점 실험실, 레이저 및 물질 상호 작용 국가 중점 실험실.
국가공학기술연구센터: 국가래스터 제조 및 응용공학기술연구센터 소형 위성 기술 국가 및 지역 공동 엔지니어링 연구 센터; 중국 과학원 핵심 연구실 광학 시스템 고급 제조 기술 핵심 실험실; 항공 광학 이미징 및 측정 핵심 실험실.
바이두 백과-중과원 장춘광학 정밀 기계 물리 연구소