첫 번째 펄스 1 1 두 번째 펄스 12 출력, 첫 번째 펄스 1 1 및 두 번째 펄스/KLOC 첫 번째 펄스의 에너지는 과녁을 이상적인 기하학적 분포로 폭격하기에 충분하고, 두 번째 펄스의 에너지 12 는 첫 번째 펄스로 처리된 과녁을 EUV 빛을 방출하는 플라즈마로 변환하기에 충분하다.
요약:
본 발명은 레이저 기술 분야를 다루고 있으며, 1800-2500 nm 의 파장 범위를 갖는 고전력 EUV 리소그래피 광원의 이중 펄스 구동 광원을 공개했다. Tm 소재를 레이저 게인 매체로 사용합니다. 펄스 시드 소스, 펄스 선택기, 펄스 분광기, 펄스 지연 기, 펄스 성형기 및 레이저 포함
광원 출력을 구동하는 이중 펄스는 동일한 펄스 시드 소스에서 생성될 수 있으며, 펄스 분할기와 펄스 지연기를 통해 시간 지연을 조절할 수 있는 이중 펄스 출력을 얻을 수 있습니다. 광원을 구동하는 데 사용되는 레이저 펄스 증폭 시스템은 하나 이상의 펄스 증폭기를 포함하며 펄스 폭은 펄스 확장기와 펄스 압축기로 조정할 수 있습니다.
소스 출력을 구동하는 이중 펄스도 각각 다른 펄스 시드 소스에서 생성될 수 있습니다. 펄스 선택기가 펄스 시퀀스를 적절한 반복율로 낮추면 펄스 지연기가 이중 펄스의 지연 출력을 달성합니다. 레이저 펄스 증폭 시스템은 펄스 확장기와 펄스 압축기로 조절할 수 있는 최소 1 차 펄스 증폭기를 포함합니다.
본 발명은 고전력 2mum 밴드 전 고체 레이저의 평균 전력이 높고, 플러그 효율이 높으며, 부품 부피가 작다는 특징을 이용하여 현재 구동 광원인 CO2 레이저를 대체하여 평균 전력 출력을 높이고 EUV 방사를 자극하는 전력을 높였으며, EUV 리소그래피 칩 생산량을 높이는 문제를 해결했다.
5 월 26 일 상해시 과학기술장려대회가 상해에서 열렸다. 회의에서 2022 년 각종 과학기술상을 수여했다. 상해광기소 4 개 과학 연구 성과는 2022 년 상해시 과학기술상 1 등상을 수상했으며, 그중' 고전력 편광무관광합빔 래스터 핵심 기술 및 응용' 프로젝트가 상해시 기술발명상 1 등상을 수상했다.
스펙트럼 그룹 빔 기술은 현재 고전력 광섬유 레이저를 실현하는 가장 빠른 기술 경로 중 하나이다. 이 기술은 래스터 역분산 원리를 이용하여 수백 개의 파장이 다른 킬로와트급 빔 레이저를 고전력 레이저 묶음으로 결합한다. 그러나 편광 독립성, 하이퍼 스펙트 럴 효율 및 저온 상승 왜곡으로 인해 스펙트럼 빔 래스터를 개발하는 것은 매우 어렵고 수년 동안 효과적인 돌파구를 형성하지 못했습니다.
미국 리버모어 국립연구소, 선진영화사, 록히드 마틴은 수년간의 공동 연구를 통해 30 kW 고에너지 레이저 시스템을 지원할 수 있는 스펙트럼 R& 합동래스터를 개발해 20 14 미국 과학기술상' R&:D/KLOC-' 2022 년에는 300 킬로와트 합성 레이저 출력이 더욱 실현되었다.
이 프로젝트는 우리나라 고전력 스펙트럼 합성 레이저 기술의 빠른 발전을 힘차게 추진하여 합성출력 전력을 4~5 개 정도 끌어올려 우리나라 관련 분야의 일련의 고출력 레이저 장비 건설을 보장했다. 관련 성과는 레이저 도플러속도레이더, 반도체 레이저, 초단레이저, 블루그린 레이저 가공 등 레이저 응용에도 적용되며 일부 제품은 이미 해외로 수출됐다. 또한 우리나라의 초정밀 광학 가공, 고전력 레이저 박막 제비, 광각화, 이온빔 에칭 등 관련 기술의 발전을 추진하여 상당한 사회적, 경제적 효과를 거두었다.
국가 관련 단위의 대대적인 지원으로 이 프로젝트는 래스터 구조 시스템 설계 및 엔지니어링 평가, 래스터 구조 정밀도 제어, 열 변형 감지 및 온도 상승 억제와 같은 일련의 핵심 기술을 돌파했습니다. 자율적인 지적 재산권을 가진 래스터 생산 공정 장비 세트를 형성하다. 특허 발명 허가 15 항, 논문 26 편 발표. 10 여 명의 분야 전문가들은 "이 프로젝트는 복잡하고 어렵고 혁신적이며, 전체 기술이 고전력 레이저 광섬유 조합 래스터 분야의 국제 선진 수준에 이르렀으며, 그 중 스펙트럼 대역폭과 회선 효율이 국제적으로 앞서고 있다" 고 지적했다.
요점은 이 두 단락입니다.
미국 리버모어 국립연구소, 선진영화사, 록히드 마틴은 수년간의 공동 연구를 통해 30 kW 고에너지 레이저 시스템을 지원할 수 있는 스펙트럼 R& 합동래스터를 개발해 20 14 미국 과학기술상' R&:D/KLOC-' 2022 년에는 300 킬로와트 합성 레이저 출력이 더욱 실현되었다.
이 프로젝트는 우리나라 고전력 스펙트럼 합성 레이저 기술의 빠른 발전을 강력하게 추진하여 합성출력 전력이 4~5 개 규모 (즉 1 만회 ~ 1 만회) 까지 치솟았다! ), 우리나라 관련 분야에서 일련의 고전력 레이저 설비의 건설을 보장하였다.
최근 상해광기가 개발한 편광과 무관한 덩어리 래스터가 획기적인 진전을 이루었다. 중과원 강레이저 재료 실험실은 국내에서 편광과 무관한 전 매체 합빔 래스터를 개발하는 데 앞장서고 있다. 개발된 50mm×50mm 래스터는 무편레이저 1040nm- 1070nm 범위 내에서 94% 이상의 회선 효율을 발휘하여 몇 킬로와트의 전력을 견딜 수 있습니다.
상해광기 연구소 연구원들은 고강도 레이저 박막 기술 기초와 래스터 설계를 바탕으로 고강도 레이저 박막 제조 기술과 유연한 래스터 구조 설계를 결합하여 래스터 제조의 각 부분에 대한 제조 공차를 교묘하게 높였습니다. 우리나라의 편광과 무관한 전 매체 덩어리 래스터 연구의 돌파구를 실현하였다.
고전력 광섬유 레이저의 합성 기술은 이미 국제적인 연구 핫스팟이 되었으며, 그 중 비간섭 스펙트럼 합성은 최근 몇 년 동안 급속히 발전해 온 합성 방법이며, 핵심 부품은 편광과 무관한 전체 미디어 덩어리 래스터로, 세계 유일의 미국만 제공할 수 있다.