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정옥성의 과학 연구 성과
(1).2000 년 이전에 주재하고 참여한 수직 과학 연구 프로젝트.

[1] 국가교위는 우수 청년 교사 기금 프로젝트' 3D 부품 기하학 모델 리버스 엔지니어링 시스템 연구 개발' 에 자금을 지원했다.

[2] 국가자연과학기금 프로젝트' 신경 네트워크가 가공품질관리에 응용연구';

[3] 국립 자연과학기금 프로젝트' 복잡한 3 차원 부품의 전체 기하학적 정보 수집 및 모델 재구성'

[4] 국가 863 프로그램 (기초 연구) 프로젝트' RRE 및 RP 기반 통합 온라인 제조 서비스 시스템'

[5] 국가 863/CIMS 프로젝트 "JFMT/CIMS/CAQ 상세 설계", CAQ 하위 시스템 수석 디자이너

[6] 국가 863/CIMS 프로젝트 "JFMT/CIMS/CAQ R&D", CAQ 하위 시스템 프로젝트 책임자

[7] 국가교위 유학 귀국자 기금 프로젝트' 환경 가공 공예 및 기술 연구';

[8] 산시 () 성 과학 기술 중점 프로젝트' 3D 인쇄 래피드 프로토타이핑 기술 개발';

[9] Xi 95 산업 과학 기술 연구 프로젝트 "3D 부품 전체 형상 솔리드 모형 측량 시스템 연구 개발"

[10] 산시 성 과학 연구 프로그램 기금 프로젝트 "신경 네트워크 및 퍼지 논리에 기반한 가공 제어";

[1 1] 국가 95 핵심 기술 프로젝트 "레이저 래피드 프로토 타이핑 기술 연구 개발";

[12] "국가 95 핵심 기술 프로젝트 서브 프로젝트" 국가 신속한 원형 제조 기술 서비스 센터 건설 "

(2)2000 년부터 완료 및 연구 중인 수직과학연구 프로젝트 (제 1 지원자) 를 주재한다.

[1] 국가 973 계획' 고성능 전자제품 설계 및 제조 중 정교한 디지털화의 새로운 원리와 방법' 프로젝트 이름은' 마이크로각인 성형 중 상전이형 구조 및 충실도 이전' 으로 총 2 억 465 만 원, 2003-2008 년.

[2] 국가 863 프로그램 중점 프로젝트 (클래스 B) "집적 회로 제조 중 각인 리소그래피 기술 및 장비 연구 개발", 총 200 만 원, 2002-2005 년.

[3] 산시 () 성 과학기술 공관 프로젝트' 각인 리소그래피 기술 및 설비 연구 개발', 총자금 1 만원, 2003-2005.

[4] Xi 안 중대 혁신 프로젝트' 집적 회로 각인 리소그래피 기술 연구 개발', 총 자금 1 만원, 2004-2006 년.

[5] National Natural Science Fund 프로젝트' 마이크로 나노 스케일 제약 성형에서의 유변 시뮬레이션 및 프로세스 제어', 26 만 26 만원, 1999-2002.

[6] 국가 863 프로그램' RE/CAD/RP/RT 기반 원격 서비스 시스템', 총 경비 56 만 원, 200 1-2003.

[7] 교육부의 중점 교사 기금 프로젝트' 생체 활성 인공골 제조' 는 총 27 만 27 만원, 2000-2002 를 지원한다.

[8] 국립자연과학기금 프로젝트' 집적 회로 제조 중 각인 각식 기술 연구' 는 총 30 만 30 만, 2003-2006 을 지원한다.

[9] 교육부는 세기를 뛰어넘는 인재 계획' 자식 100nm 특징 구조 형성 방법' 을 총 30 만 원, 2003-2006 년 후원했다.

[10] 미국 응용 재료 회사 혁신 기금 "심서브 마이크론 구조 다층 중복 인쇄 정렬 측정 시스템 및 중복 인쇄 기술", 총 30 만 위안, 2005-2007 년.

[1 1] 국가 863 프로그램' 유연한 매크로 전자 제조의 마이크로구조에 대한 대면적 역각인 기술' 은 총 97 만 원, 2007-2009 년을 지원한다.

[12] 국가 863 프로그램 중점 과제' MEMS 기반 PDD 치료 전극 및 시스템 개발' 은 하위 과제' 바이오메트릭 MEMS 개발' 으로 총 267 만원, 하위 과제 85 만원, 2007-2009 년을 지원한다.

[13] 국가 자연과학기금 프로젝트' 유연성 매크로 전자 제조 중 마이크로구조 대면적 역각인 기술 기초 연구' 는 총 38 만 38 만원, 2008-20 10 을 지원한다.

[14] 국가 973 계획' 나노 구조장 유변 변형의 법칙과 통제' 에서' 집적 회로 제조 장비 기초 문제' 는 총 360 만원, 2009.438+0-2038+03.5338+

(3). 대표 논문

2008 년까지 국내외 학술지와 회의에서 논문 120 여 편을 발표했다. 그 중에서도 대표적 논문:

홍파. 란, 우성인. 정, 등,' 나노각인 리소그래피의 실리콘대 연구', 마이크로일렉트로닉스 공학 학보, 84/4(2007), 684-688 면

이지강, 우성인. 딩. 저압 고주파 콘덴서 무선 주파수 등 이온층 전위차 연구는 이온 에너지가 재료 표면에 부딪히는 기초 연구로 쓰인다. 코팅 기술, 200/ 18- 19(2006 년), 5655-5662 면

이, 정옥성, 등 "하중방출을 이용하여 각인 리소그래피의 변형을 줄인다", 마이크로일렉트로닉스 공학학보, 83/3(2006), 485-49 1

우성 유홍중. 딩, 등' 스텝형 각인 리소그래피 장비의 다단계 나노 위치 제어', 나노 과학,1/2,2006, 123- 130

우성 유홍중. 딩, 등,' 단계별 각인 리소그래피를 위한 측정 시스템', 주요 엔지니어링 재료 학보, 2005 년, 295-296 권,107-1/Kloc

유홍중, 노병항, 우성. 딩, 등, "이중 서보 링과 비선형 보상을 기반으로 한 나노 위치 모터 압전 드라이브", 마이크로 기계 및 마이크로 엔지니어링 저널,13,2003, 295-299 페이지

블루홍파, 정옥성 등' 스텝형 마이크로각인 리소그래피 도구 개발', 마이크로기계공학학보, 17(2007)2039-2048

왕전대, 단옥강, 유성정 등' 소프트 에칭 마스크에 기반한 유리 습식 에칭 템플릿 제작', 마이크로기계 및 마이크로공학 저널,16,2006,564-57

소김우, 정옥성, 돈 등' 로드 방출 및 정렬 오차 사전 보상 방법을 이용한 새로운 중첩 공예', 마이크로일렉트로닉스 공사 85/ 1, 2008, PP168

소김우, 정옥성 등' 모어 줄무늬를 기반으로 한 각인 리소그래피 정렬 측정 방법', 광공학, 47/ 1 1, 2008,1

강, 정옥성, 등' 자외선 조각 탈형의 2 단계 고화 방법', 마이크로전자 공사, 85/2 권, 2008, 458-464 면

블루홍파, 정옥성, 등' 소프트 자외선 조각중의 금형 변형', 중국 과학기술지, 제 39 권, 2009, PP 1- 10

, 정옥성 등' 탄소 나노튜브 광전기 장치에 나노 각인 기술 적용 연구', 중국 모터공학회, 2007 년, 8/7 권, 274-275 면.

, 류홍중, 정옥성, "소프트 나노 각인 기술에 기반한 폴리머 광전지 3 차원 마이크로구조 제작", IEEE 회의, 2007 년, 8/7 권, 300-30 1.

석영승, 정옥성,' 소프트 나노 각인 기술로 고도로 질서 정연한 구멍 배열 만들기', IEEE 2007, 8/7 권, 280-28 1.

, 정옥성, 강, "새로운 자외선 나노 각인 로딩 및 탈모 과정 제어", 마이크로일렉트로닉스 엔지니어링, 2008 년 출판되어 온라인으로 이용할 수 있습니다.

소김우, 정옥성, 홍 등' 단계별 각인 리소그래피에서 하중력으로 인한 중첩 위치 이동 전략', 기계공학회 학보, B 권, 엔지니어링제조, 2008 년, 수락, 출판 중

, 류홍중, 정옥성 등' 전계 방출 및 센서 용 탄소 나노튜브 어레이 준비', 마이크로전자학 잡지, 2008 년 발간돼 인터넷에서 열람할 수 있다

왕전대, 단옥강, 정옥성 등' 다단계 각인 리소그래피를 기반으로 한 LIGA 공예 연구', 마이크로일렉트로닉스 학보, 2008 년, 출판, 온라인 열람 가능.

, 정옥성, 이 등,' 고퀄리티 금형의 주조 성형 공예 연구', 마이크로일렉트로닉스 공사, 2008 년 출간돼 인터넷에서 열람할 수 있다.

블루홍파, 정옥성 등. STL 모델을 기반으로 한 광경화 고속 성형 부품 견적 방법론. 컴퓨터와 공사. 산업공학, 52/2 (2007), 2465438 페이지+0–256 페이지

블루홍파, 정옥성 등 "수치 제어 밀링 머신을 기반으로 한 리버스 엔지니어링은 단층 촬영 시스템", 국제 선진 제조 기술지 (2008)37:34 1-353

홍보란, 우성인. 정, 등' 모호한 종합심사와 전문가 시스템과 통합된 신속한 성형 프로세스 선택 의사 결정 지원 시스템',' 국제부품 가공 기술' 2002 년 1 호. 생산연구지, 42/ 1(2005 년), 169- 194 면

블루홍파, 정옥성 등' 웹 기반 제품 빠른 개발 제조 서비스 시스템', 산업용 컴퓨터, 54/ 1(2004), 5 1-67 페이지

장, 정옥성, 등,' 빠른 프로토타입 모델의 새로운 펀칭 공예', 빠른 프로토타입 저널, 10/3(2004), 제166-/

정옥성, 블루홍파 등' 빠른 프로토타입을 기반으로 한 빠른 금형 통합 제조 시스템', 로봇과 컴퓨터 통합 제조, 20/4(2004), 28 1-288

네, 정옥성, 리, 등, "공구 기반 종이 층층 빠른 성형 시스템", 적재입니다. 기계 및 제조 잡지, 43 호 (2003 년), 1079- 1086 면

홍옥연, 정옥성 등' 저온가공에서의 마찰계수와 액질소 윤활 효과에 대한 실험평가', 기계가공과학과 기술, 6/2(2002), 235-250 쪽

홍, 정옥성 등 "Ti-6Al-4V 저온 가공의 냉각 방법 및 절삭 온도", 국제항공우주학회. J. 기계 및 제조업체 4 1/ 10(2002 년),1417-/;

란홍파, 정옥성 등' 단면 이미징 시스템을 기반으로 한 엔진 실린더 통합 모델링 방법', 응용역학과 재료,10-12,697-70/Kloc

블루홍파, 정옥성 등' 인터넷 기반 사출 금형 공동 개발 원가 산정 시스템', 재료과학포럼, 532-533 권, PP997-1000,2006

블루홍파, 정옥성, 등' 웹 기반 광경화 래피드 프로토타이핑 부품 견적 시스템', 컴퓨터 산업, 제 59 권 (2008), 777-785

(4). 특허 신청 및 승인

각인 리소그래피를 기반으로 한 복합 리소그래피 3D MEMS 부품 제조 방법, ZL03 134596, 2005 년 9 월, 승인

폴리 디메틸 실록산 마이크로 유체 칩 복제 광경화 수지 금형 제조 방법, ZL2004 10073433, 2007 년 3 월 승인

딥 서브 마이크론 3D 롤링 몰드 및 제조 방법, ZL2005 10042777, 2007 년 6 월 65438+ 10 월 라이센스

고분자 태양 전지의 딥 서브 마이크론 3 차원 헤테로 접합 인터페이스 및 그 제조 방법, ZL2005 10042776, 65438+2008 년 10 월, 라이센스;

대면적 마이크로각인 전용 초평면 소프트 몰딩 제조 방법, 2005 1004307 1, 2005 년 8 월

습식 에칭을 기반으로 한 MEMS 각인 템플릿 제조 공정, 2005 10043070, 2005 년 8 월

나노 각인용 자외선 경화양이온 에칭 접착제, 2005 10043034, 2005 년 8 월

복잡한 3 차원 마이크로구조 또는 마이크로부품의 저비용 제조 방법, 2005 10095042.0, 2006 년 5 월.

제로 필름 임프린트 템플릿 및 임프린트 리소그래피 그래픽 전송 방법, 2006 10 105267, 65438+2006 년 2 월

대 면적 주기성 배열의 3 차원 미세 구조 준비 방법, 2007 100 15200, 2007 년 8 월

플라즈마 디스플레이 플레이트 장벽 대 면적 각인 성형 방법, 2007 년 7 월 7 월10018184.4;

고속 대형 스트로크 공압 반 서스펜션 2 자유도 베이스, 2007 100 18229, 2007 년 6 월, 65438+ 10 월

홀 효과에 기반한 초고밀도 자기 랜덤 액세스 메모리 및 그 제조 방법, 20075438+000 17940.438+0, 2007 년 5 월

200765438 년 6 월+00018124;

유연한 거시 전자 제조에서 미세 구조의 대 면적 반 롤러 임프린트 방법, 200710019013.3,2007165438+

미크론 특성을 가진 3 차원 롤링 몰드 및 그 제조 방법, 200710018185.9, 2007 년 7 월

이식식 MEMS 생체 전극 및 그 제조 공정, 2007 10 199235, 2007 65438+2 월.

마이크로 연료 전지용 복합 바이폴라 플레이트 및 그 제조 방법, 2007 100 15794 년 6 월

염료 감응 TiO2 _ 2 나노 결정 태양 전지 맞춤형 전도막 및 그 제조, 2008 100 17378.7, 2008 65438+ 10 월;

2008 100 18360.9, 2008 년 6 월,

마이크로 직접 메탄올 연료 전지 복합 바이폴라 플레이트의 제조 방법, 2007 100 17793 년 4 월

(e) 수상 과학 연구 성과

"금속 스프레이 및 브러시 도금 기술을 기반으로 한 커버 몰드의 신속한 제조 기술 및 장비", 산시 기술 1 등상, 2005 (2)

"신속한 프로토 타이핑을위한 몇 가지 핵심 기술 및 장비", 국가 과학 기술 진보 2 등상, 2001(4);

"레이저 경화 래피드 성형기 및 광경화 수지", 교육부 과학 기술 진보 1 등상,1999 (4);

"점탄성 대형 댐핑 구조 모달 합성 및 최적화 설계 패키지 EVESADP", 국가교위 기술진보 1 등상,1992 (2);

(6). 명예 제목

200 1 국무원' 정부 특별수당' 을 받는다.

2003 년 교육부 십자가 세기 인재 프로그램 선정

2002 년 산시 성 인사청에' 우수 유학 귀국자' 라는 칭호를 수여받았다.