반도체 폐수는 불소 폐수, 유기폐수, 금속이온 폐수의 세 가지 범주로 나뉜다.
오수 중 COD, 암모니아 질소, 총 질소 등 유기오염물을 제거하기 위해 일반적으로 호기성 방법과 산소-혐기성 방법으로 처리한다.
금속이온 폐수는 금속이온에 따라 다르게 처리되는데, 흔히 볼 수 있는 방법은 활성탄흡착법, 화학침전법, 이온교환법입니다.
불소 함유 폐수의 경우, 주로 하수에 칼슘염을 첨가하는데, 칼슘염은 수중의 브롬이온과 CaF2 를 형성하여 응고제의 도움을 받아 하수에서 브롬이온을 제거하는 것이 통상적으로 화학침전법이라고 한다.
전자 LED 반도체 업계의 물 소비율이 높기 때문에 물 소비 비용과 환경오염을 줄이기 위해 오수 재활용은 전자 반도체 업계의 경영자들에게 매우 중요하다.
위에서 언급한 방법 외에도 LED 반도체 오수는 전기 침투, 이온 교환 수지, 흡착, 냉동 등의 처리도 할 수 있다. 하수 처리 과정에서 불순물과 특수 냄새를 제거할 수 있다.