헥사 플루오 라이드의 밀도는 리터 당 약 13g 이고 공기의 약 1 1 배이므로 밀도가 가장 높은 가스입니다. 육불화텅스텐은 텅스텐과 텅스텐으로 형성된 무기화합물로 화학식은 WF6 이다. 육불화텅스텐은 무색, 독성, 부식성이 있는 기체로, 반도체 부품 제조업은 WF6 의 화학기상침착을 이용하여 텅스텐막을 형성한다.