지난 20 년 동안 사람들은 MEMS 를 적극적으로 연구해 왔다. 제조 공정의 정확도가 높아짐에 따라, 부품의 크기가 급속히 축소되어 나노 크기의 MEMS 가 나타났는데, 이것이 바로 나노 기계 시스템 (NEMS) 이다. NEMS 는 MEMS 기술을 기반으로 한 새로운 개념으로, 양자 효과, 나노 스케일 구조의 인터페이스 효과, 나노 스케일 효과를 특징으로 하는 장치 및 시스템 (예: 나노 스케일 기계 장비, 전자 장치, 컴퓨터, 센서 등) 과 같은 나노 기술 특징을 지닌 초소형 메카트로닉스 연구 분야를 말합니다. NEMS 기술이 등장하자 나노기계 발열기와 센서, 나노기계 공진기 및 기타 장치의 원형이 개발되었다. NEMS 기술은 모든 분야에서 강한 생명력을 가질 것이다.