베이징 중토기계유한공사의 LED 에피택셜 PL 스펙트럼 스캔 영상기는 칭화대 물리학과가 국가 863 계획의 지원을 받아 7 년간의 연구와 개선을 거쳐 개발한 특허 제품이다. 이 영상기는 LED 에피 택셜 필름 품질의 신속한 온라인 감지에 사용되며, 주로 LED 에피 택셜 칩 및 칩 생산 라인에 사용되며 고해상도 지도를 생성하고 박막 두께를 측정합니다. 이 기기는 에피 택셜 필름 생산 공정의 최적화 제어를 위한 빠르고 신뢰할 수 있는 데이터 피드백을 제공하여 생산 품질 향상을 위한 신뢰할 수 있는 보장을 제공합니다. 이 영상기는 이미 여러 LED 에피 택셜 생산 라인에 성공적으로 적용되었다.

주요 기능:

1, 점별 스캔 감지;

2. 에피 택셜 시트 매니 폴드, 광 강도 및 주요 파장의 컴퓨터 분석 및 계산. 피크 파장, 스펙트럼 반 폭 및 기타 매개 변수;

3. 분포 및 데이터를 드로잉, 횡단면 분포 및 단일 점 스펙트럼으로 표시합니다.

4. 각 매개변수에 대한 통계 결과를 표시합니다.

5. 선택한 범위의 통계 매개변수를 표시합니다.

6. 부분 스캔을 할 수 있고, 스캔 결과를 격리하고, 가장자리를 제거할 수 있습니다.

7. 백색광 반사 스펙트럼을 이용하여 박막 두께를 측정하고 분포와 데이터를 그래프로 표시합니다.

8, 오프라인 데이터 처리 소프트웨어 장착

이 기구는 운행이 믿을 만하고 구조가 치밀하다. 모든 감지 및 데이터 처리는 컴퓨터에 의해 자동으로 수행됩니다. 사용하기 쉬운 창 인터페이스를 사용하여 조작하기 쉽습니다. 사용자는 아주 적은 교육만으로 사용할 수 있으며, 서로 다른 외연판에 따라 다른 레이저를 선택할 수 있다.