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실리콘 재활용 기술의 슬라이스, 어닐링 및 모따기
실리콘 회수는 푸젠의 새로운 에너지 회수이다. 폐물 또는 유통기한이 지난 초폴리실리콘, 125 태양열 단결정전지, 156 태양열 다판 (조각, 조각), 마감, 헤드, 반도체 실리콘, 희귀 금속 실리콘의 재활용 공정은 다음과 같이 구체적으로 소개됩니다. 슬라이스: 단결정 이 과정에서 생긴 실리카 흄은 물에 젖어 폐수와 실리콘 찌꺼기를 생산한다. 어닐링: 이중위 열산화로 질소, 적외선은 300 ~ 500 C 로 가열되고 실리콘 표면은 산소와 반응하여 실리콘 표면에 이산화 실리콘 보호층을 형성한다.

모따기: 어닐링 후 실리콘을 호로 트리밍하여 실리콘 가장자리의 균열과 격자 결함을 방지하고 에피 택셜 및 포토 레지스트의 평탄도를 높입니다. 이 과정에서 생긴 실리카 흄은 물에 젖어 폐수와 실리콘 찌꺼기를 생산한다.