가시광선은 테스트된 박막에 수직으로 비추고, 일부 빛은 박막 표면에서 반사되고, 다른 부분은 박막을 관통하고, 박막과 밑바닥의 인터페이스에서 반사되어 박막 표면에 반사되는 빛이 박막 바닥에 반사되는 빛과 서로 간섭하게 한다. 백색광 간섭의 원리에 따라 광대역 광원을 사용하여 서로 다른 파장의 반사 데이터를 측정합니다. 반사도 N 과 K 는 다른 필름에 따라 변하므로 이 특성에 따라 곡선을 통해 박막 두께를 얻을 수 있습니다. 서로 다른 유형의 재질에 해당하는 매개변수는 서로 다른 모델로 설명되므로 서로 다른 유형의 재질 막 두께 측정의 정확성을 보장합니다.
대성 정밀 설비막 두께계는 비방사성 선진 측정 기술을 채택하여 막막 두께를 측정하는 이상적인 해결책이다.